[實用新型]自動調節硅片制絨工藝的裝置有效

申請號：	201420769704.0	申請日：	2014-12-10
公開（公告）號：	CN204480999U	公開（公告）日：	2015-07-15
發明（設計）人：	陶龍忠;樂雄英;楊灼堅;張堯;李海波	申請（專利權）人：	蘇州潤陽光伏科技有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;H01L31/18
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215300 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	自動調節硅片工藝裝置
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【權利要求書】：

1.一種自動調節硅片制絨工藝的裝置，其特征在于：該裝置由反射率測量系統（1）、硅片厚度測量系統（2）和反饋控制系統（3）組成，所述反射率測量系統（1）設置于制絨設備（10）的下料端（6），所述硅片厚度測量系統（2）設置于制絨設備（10）的上料端（5）與下料端（6），所述反饋控制系統（3）分別與反射率測量系統（1）、硅片厚度測量系統（2）及制絨設備主控計算機（4）相連接，所述反饋控制系統（3）收集反射率測量系統（1）和硅片厚度測量系統（2）測得的信號，經內部算法處理后，下達指令予制絨設備主控計算機（4），對制絨設備（10）的工藝參數進行自動調節。

2.根據權利要求1所述的自動調節硅片制絨工藝的裝置，其特征在于：所述反射率測量系統（1）由激光反射率測量儀組成。

3.根據權利要求1所述的自動調節硅片制絨工藝的裝置，其特征在于：所述硅片厚度測量系統（2）由電容測厚儀、電感測厚儀或電阻測厚儀組成。

4.根據權利要求1所述的自動調節硅片制絨工藝的裝置，其特征在于：所述反饋控制系統（3）由可編程邏輯控制器或計算機組成。

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