[實(shí)用新型]光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420768358.4
• 申請(qǐng)日: 2014-12-08
• 公開（公告）號(hào): CN204314603U
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 志圣科技（廣州）有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44295
• 代理人: 任琳

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光機(jī)電裝備領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

平行光光刻機(jī)是采用平行光曝光法來實(shí)現(xiàn)印刷電路板(PCB)成像的設(shè)備，其曝光精度(工作臺(tái)與底片對(duì)位精度)決定PCB產(chǎn)品的線寬和線距精度，因而決定電子產(chǎn)品的電路集成度和大小。

光刻機(jī)主要由精密工作臺(tái)系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、環(huán)控系統(tǒng)、機(jī)架系統(tǒng)、輸送系統(tǒng)等組成。影響平行光光刻機(jī)對(duì)位精度的主要因素是精密工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及周圍環(huán)境溫度和輸送系統(tǒng)的導(dǎo)軌摩擦力的干擾。由于光刻機(jī)的平行光系統(tǒng)采用大功率光源，在曝光過程中產(chǎn)生大量的熱量，這將引起精密工作臺(tái)系統(tǒng)和導(dǎo)軌熱變形，嚴(yán)重影響光刻機(jī)的曝光精度。因此，在環(huán)境溫度和摩擦力干擾下對(duì)光刻機(jī)精密工作臺(tái)位置進(jìn)行的精確控制，具有重要的工程實(shí)際意義。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)，可提高系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)控制精度，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)位置的精確控制。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)，包括氣動(dòng)三聯(lián)件、電氣伺服方向流量閥、電氣比例節(jié)流器、由伺服氣缸和液壓缸串聯(lián)而成的氣液阻尼缸、支撐在光刻機(jī)的工作臺(tái)下方的靜壓氣浮導(dǎo)軌、用于檢測(cè)工作臺(tái)位置的CCD圖像傳感器和可實(shí)現(xiàn)控制運(yùn)算并輸出控制信號(hào)的光刻機(jī)控制器，所述氣動(dòng)三聯(lián)件連接氣源，所述的氣動(dòng)三聯(lián)件通過兩個(gè)管道分別連接至電氣伺服方向流量閥和靜壓氣浮導(dǎo)軌，所述電氣伺服方向流量閥連接至伺服氣缸，所述電氣比例節(jié)流器連接至液壓缸，所述液壓缸的推桿連接至工作臺(tái)，所述CCD圖像傳感器位于工作臺(tái)的上方，所述的電氣伺服方向流量閥、電氣比例節(jié)流器和CCD圖像傳感器均連接至光刻機(jī)控制器。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括兩個(gè)第一減壓閥，每個(gè)所述管道上設(shè)有一所述第一減壓閥。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述氣動(dòng)三聯(lián)件包括依次連接的分水過濾器、第二減壓閥和油霧器，所述分水過濾器連接至氣源，所述油霧器連接至所述的兩個(gè)管道。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述靜壓氣浮導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有節(jié)流器，所述靜壓氣浮導(dǎo)軌和氣動(dòng)三聯(lián)件之間的管道連接至靜壓氣浮導(dǎo)軌的節(jié)流器和油霧器。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述電氣伺服方向流量閥是輸出流量隨輸入電流成比例變化的氣動(dòng)閥。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述電氣比例節(jié)流器是開口量隨輸入電流成比例變化的可變液壓阻尼器。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述伺服氣缸與電氣伺服方向流量閥之間連接有一對(duì)進(jìn)出液循環(huán)管道，所述液壓缸與電氣比例節(jié)流器之間連接有一對(duì)進(jìn)出液循環(huán)管道。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)通過采用電氣比例節(jié)流器精細(xì)調(diào)節(jié)氣液阻尼缸的阻力，采用靜壓氣浮導(dǎo)軌消除工作臺(tái)摩擦力和熱變形的影響，采用CCD圖像傳感器構(gòu)成位置閉環(huán)控制系統(tǒng)，從而提高系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)控制精度，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)位置的精確控制；采用第一減壓閥和第二減壓閥可以進(jìn)一步保證向電氣伺服方向流量閥和靜壓氣浮導(dǎo)軌提供恒定壓力的氣體，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)位置的精確控制；采用分水過濾器可以過濾掉氣體中的水汽、油滴和其他雜質(zhì)，凈化氣體，保證執(zhí)行元件正常工作，采用油霧器可以把潤滑劑加入到空氣流中，達(dá)到潤滑的目的，保證執(zhí)行元件正常工作；采用輸出流量隨輸入電流成比例變化的電氣伺服方向流量閥，開口量隨輸入電流成比例變化的電氣比例節(jié)流器可以有助于提高系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)控制精度，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)位置的精確控制。

通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實(shí)用新型的實(shí)施例。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)的示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)的框圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。

請(qǐng)參考圖1-2，所述的光刻機(jī)電氣伺服對(duì)位控制系統(tǒng)包括氣動(dòng)三聯(lián)件1、兩個(gè)第一減壓閥2、電氣伺服方向流量閥3、電氣比例節(jié)流器4、氣液阻尼缸6、靜壓氣浮導(dǎo)軌7、CCD圖像傳感器8和光刻機(jī)控制器9。

所述氣動(dòng)三聯(lián)件1包括依次連接的分水過濾器1a、第二減壓閥1b和油霧器1c，所述分水過濾器1a連接至氣源，所述油霧器1c連接至所述的兩個(gè)管道10。

所述的兩個(gè)第一減壓閥2分別設(shè)于兩個(gè)管道10上，用于控制油霧器1c的出口壓力恒定。

所述電氣伺服方向流量閥3是輸出流量隨輸入電流成比例變化的氣動(dòng)閥，所述電氣伺服方向流量閥3通過其中一管道10連接至氣動(dòng)三聯(lián)件1的油霧器1c。