[實用新型]一種新型拋光液桶

有效

• 申請號: 201420766095.3
• 申請日: 2014-12-08
• 公開（公告）號: CN204431065U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 周群飛;饒橋兵;文彪
• 申請（專利權）人: 藍思科技股份有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B01D36/02
• 代理公司: 長沙七合源專利代理事務所(普通合伙) 43214
• 代理人: 歐穎;鄭雋

技術領域

本實用新型涉及拋光機用附件領域，特別地，涉及一種新型拋光液桶。

背景技術

藍寶石晶體(a-Al₂O₃)因為具有特殊的物理、化學、光學特性，被廣泛用于視窗材料、半導體材料，成為目前光學、半導體行業最熱門的新型材料之一。藍寶石晶體的物理特性之一是硬度非常大，莫氏硬度達到9，僅次于最硬的金剛石材料(莫氏硬度達到10)，加工過程非常困難，尤其是藍寶石的拋光，無論是作為半導體材料還是作為視窗材料，都需要將藍寶石加工表面進行拋光，得到納米級表面精度，而藍寶石的拋光只能利用拋光液對藍寶石的水化作用，通過物理拋光的方法進行加工，因此，拋光液在藍寶石晶體的拋光過程中起著關鍵性作用。

拋光液是一種鋁溶膠或者硅溶膠材料，而此種材料主要成分是納米級別的溶膠粒子，溶膠顆粒的大小、形貌是影響拋光液拋光效率的關鍵因素，在加工過程中，因為受到物理、化學共同作用，溶膠顆粒會破損，直接表現為pH值下降。拋光液濃度也是影響拋光液穩定性的關鍵因素，濃度降低，拋光液拋光效果明顯降低，而且會影響拋光盤面的溫度；濃度過高，設備摩擦阻力過大，影響設備正常運轉。拋光是化學作用和物理作用的結合，所以溫度是影響拋光液拋光效率最主要的影響因素，在不破壞硅溶膠本身狀態的前提下，溫度越高，化學作用越強，而目前采用的拋光液桶主要是集中在拋光液怎么樣實現冷卻的研究上，沒有拋光液加熱系統，這個系統需要靠拋光本身摩擦生熱來加熱整個系統，這樣勢必會降低拋光液前期的拋光效率。現有技術中，因為拋光液是溶膠，容易結晶，結晶會污染拋光液，甚至破壞藍寶石表面精度，因此，拋光效果不好。

對比現有的拋光工藝可知，設計一種能夠同時實現拋光液的溫度、濃度、pH值控制的拋光機用附屬設備具有重要的意義。

實用新型內容

本實用新型目的在于提供一種結構精簡、能同時實現拋光液的濃度、pH值監控的新型拋光液桶，具體技術方案如下：

一種新型拋光液桶，包括桶體、pH值監控補償部件以及濃度監控補償部件；

所述桶體包括圓柱形外殼以及設置在所述圓柱形外殼內部的內膽，所述圓柱形外殼與所述內膽之間形成通道，所述通道的進口和出口均位于所述圓柱形外殼的中上部；所述內膽上?設有進液口以及出液口，所述進液口與所述內膽的內腔的上部連通，所述出液口與所述內膽的內腔的下部連通，且所述出液口通過回流泵以及回流管道與所述內膽的內腔的上部連通；

所述pH值監控補償部件包括pH值感應探頭、堿液存儲裝置以及第一調節開關，所述pH值感應探頭設置在所述內膽的內腔的下部內，所述堿液存儲裝置通過第一管路與所述內膽的內腔連通，所述第一調節開關設置在所述第一管路上；

所述濃度監控補償部件包括濃度感應探頭、拋光液存儲裝置以及第二調節開關，所述濃度感應探頭設置在所述內膽的內腔的下部內，所述拋光液存儲裝置通過第二管路與所述內膽的內腔連通，所述第二調節開關設置在所述第二管路上。

以上技術方案中優選的，所述pH值感應探頭為TONGKA?PH305；所述濃度感應探頭為TQ-886振動式密度計，其測量范圍為0-3g/cm³，其測量精度為0.01g/cm³；所述第一調節開關為PH自動補償泵，所述第二調節開關為密度自動補償泵。

為了達到更好的技術效果，還包括數字控制器，所述回流泵、pH值感應探頭、第一調節開關、濃度感應探頭以及第二調節開關均與所述數字控制器連接。

以上技術方案中優選的，所述數字控制器上設有顯示屏、報警指示燈以及用于設定參數的鍵盤。

為了達到更好的技術效果，還包括溫度監控補償部件，所述溫度監控補償部件包括溫度傳感器以及冷熱介質循環管，所述溫度傳感器設置在所述內膽的內腔的下部內，所述冷熱介質循環管包括第一組單管以及第二組單管，所述第一組單管的入口端與外界冷熱介質儲存器連通，其出口端與所述通道的進口端連通，且所述第一組單管上設有熱介質流通閥門以及冷介質流通閥門；所述第二組單管的入口端與所述通道的出口端連通，其出口端與外界冷熱介質儲存器連通；所述溫度傳感器、熱介質流通閥門以及冷介質流通閥門均與所述數字控制器連接。

為了達到更好的技術效果，還包括過濾部件，所述過濾部件包括兩組過濾器，一組所述過濾器設置在與所述進液口連通的管道上，另一組所述過濾器設置在與所述回流管道連通的管道上，且位于所述出液口與所述回流泵之間。