[實用新型]一種掩膜板有效
| 申請號： | 201420755671.4 | 申請日： | 2014-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN204434717U | 公開（公告）日： | 2015-07-01 |
| 發明（設計）人： | 馬得貴;吳俊雄;冉應剛;柯賢軍;蘇君海 | 申請（專利權）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 鄧義華;陳衛 |
| 地址： | 516006 廣東省惠州市仲*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掩膜板 | ||
【權利要求書】：
1.一種掩膜板，所述掩膜板包括鍍膜開口區和非鍍膜區，所述非鍍膜區分布于鍍膜開口區的四周，其特征在于，所述非鍍膜區上設置有相對鍍膜開口區中心線對稱分布的減薄區。
2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述減薄區由蝕刻方法制得。
3.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述減薄區由磨削方法制得。
4.根據權利要求1-3任一所述的掩膜板，其特征在于，所述減薄區中位于拉伸方向上的減薄區的形狀為半弧形或矩形。
5.根據權利要求1-3任一所述的掩膜板，其特征在于，所述減薄區中垂直于拉伸方向上的減薄區包含至少兩個矩形減薄區。
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