[實用新型]雙波長激光退火裝置有效

申請號：	201420748569.1	申請日：	2014-12-03
公開（公告）號：	CN204189772U	公開（公告）日：	2015-03-04
發明（設計）人：	趙裕興;韓偉	申請（專利權）人：	蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設備有限公司
主分類號：	H01L21/268	分類號：	H01L21/268;B23K26/067
代理公司：	江蘇圣典律師事務所 32237	代理人：	王玉國
地址：	215021 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	波長激光退火裝置
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【權利要求書】：

1.雙波長激光退火裝置，其特征在于：包含綠光激光器和紅外激光器，綠光激光器的輸出光路上依次布置擴束模塊、綠光條形光斑整形模塊和綠光45度反光鏡，紅外激光器的輸出光路上依次布置紅外條形光斑整形模塊和紅外45度反光鏡，綠光45度反光鏡和紅外45度反光鏡的輸出光路設置有合束投影聚焦鏡，合束投影聚焦鏡的輸出光路設有可變光闌，可變光闌的輸出端正對于加工平臺。

2.根據權利要求1所述的雙波長激光退火裝置，其特征在于：所述綠光激光器是綠光波段為515～532nm的調Q脈沖式綠光激光器。

3.根據權利要求1所述的雙波長激光退火裝置，其特征在于：所述紅外激光器是波段為808～1070nm的半導體或光纖紅外激光器。

4.根據權利要求1所述的雙波長激光退火裝置，其特征在于：所述擴束模塊由共焦的凹透鏡和凸透鏡組成，兩個透鏡呈虛共焦結構。

5.根據權利要求1所述的雙波長激光退火裝置，其特征在于：所述合束投影聚焦鏡旁設有用于測量激光光束到加工件表面高度的自動測高儀。

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