[實(shí)用新型]一種研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420748030.6
• 申請(qǐng)日: 2014-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN204248570U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖宇;吳洪江;黎敏;姜晶晶;李曉光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京東方顯示技術(shù)有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B3/24
• 分類號(hào): B24B3/24;B24B3/00;B24B51/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種研磨裝置，用于研磨基板表面的凸起，其特征在于，包括本體、CCD傳感器和研磨頭，其中：

所述CCD傳感器連接到所述本體，用于測(cè)量在所述研磨頭下方的所述基板表面的凸起的高度；

所述研磨頭連接到所述本體，根據(jù)所述CCD傳感器的測(cè)量結(jié)果對(duì)所述凸起進(jìn)行研磨。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，還包括吸風(fēng)管，所述吸風(fēng)管的下端口用于吸入研磨產(chǎn)生的碎屑。

3.如權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述吸風(fēng)管的下端部向靠近所述研磨頭的方向傾斜。

4.如權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述吸風(fēng)管為多個(gè)，所述多個(gè)吸風(fēng)管的下端口布置在所述研磨頭周圍。

5.如權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述吸風(fēng)管為環(huán)繞所述研磨頭的環(huán)狀管。

6.如權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，還包括吸風(fēng)機(jī)，所述吸風(fēng)機(jī)與所述吸風(fēng)管的上端連接。

7.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，還包括與所述本體連接的光源，用于照射在所述研磨頭下方的所述基板表面的凸起。

8.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述光源為白光光源。

9.如權(quán)利要求8所述的研磨裝置，其特征在于，所述光源的發(fā)光器件為發(fā)光二極管。

10.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述光源與所述CCD傳感器在所述本體兩側(cè)相對(duì)設(shè)置。