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[實用新型]全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統有效

專利信息
申請號: 201420744742.0 申請日: 2014-12-02
公開(公告)號: CN204270124U 公開(公告)日: 2015-04-15
發明(設計)人: 鄭睿;肖鵬;林立;謝慶國 申請(專利權)人: 蘇州瑞派寧科技有限公司
主分類號: G05B19/418 分類號: G05B19/418
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215163 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 數字化 集散 閃爍 晶體 提拉爐 控制系統
【權利要求書】:

1.一種全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其包括執行模塊及上位機,所述執行模塊包括控制溫度的中頻加熱模塊、控制晶體提拉速度的晶體提拉模塊、控制晶體旋轉速度的晶體旋轉模塊及對生長爐內晶體重量進行測量的稱重模塊,其特征在于:所述全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統還包括控制晶體生長及各模塊運轉的控制模塊,所述控制模塊與上位機及執行模塊分別進行通信連接,所述上位機用于進行生長參數設置和實時監測,所述控制模塊與上位機在功能上相互獨立,所述控制模塊與稱重模塊通信以獲取稱重信號,所述控制模塊與中頻加熱模塊進行通信以設置功率值和讀取中頻參數,所述控制模塊與上位機電腦通信以上傳監測信號和接收操作命令,所述控制模塊包括可編程控制器。

2.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統包括對控制模塊進行供電的不間斷電源。

3.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述控制模塊控制過程中以數字信號的方式傳輸稱重模塊獲取的稱重數據。

4.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:采用PID控制方式對中頻加熱模塊的功率進行控制,所述控制模塊以數字信號的方式傳輸中頻加熱模塊的功率控制信號。

5.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述控制模塊以數字信號的方式與上位機電腦通信。

6.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述控制模塊主要基于該可編程控制器,運用梯形圖語言和ST語言進行編程完成對整個晶體生長過程的自動控制。

7.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述晶體提拉模塊包括第一電機驅動器和與第一電機驅動器連接的提拉電機,所述提拉電機的轉速采用控制模塊的高速脈沖輸出進行控制。

8.根據權利要求7所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述晶體提拉模塊包括與提拉電機配合的減速電機,所述第一電機驅動器采用雙脈沖工作方式。

9.根據權利要求7所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述提拉電機采用五相步進電機。

10.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述晶體旋轉模塊包括第二電機驅動器和與第二電機驅動器連接的旋轉電機,所述旋轉電機的轉速采用控制模塊的高速脈沖輸出進行控制。

11.根據權利要求10所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述晶體旋轉模塊包括與旋轉電機配合的減速電機,所述第二電機驅動器采用雙脈沖工作方式。

12.根據權利要求10所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述旋轉電機采用五相步進電機。

13.根據權利要求1所述的全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統,其特征在于:所述全數字化集散型閃爍晶體提拉爐控制系統還包括安全監控模塊,所述安全監控模塊通過上位機顯示其監控到的異常情況,上位機對異常情況進行報警和記錄。

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