[實用新型]一種金屬薄膜厚度測試裝置有效
| 申請號： | 201420744609.5 | 申請日： | 2014-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN204269065U | 公開（公告）日： | 2015-04-15 |
| 發明（設計）人： | 姚曼文;陳建文;鄒培;肖瑞華;彭勇;姚熹 | 申請（專利權）人： | 同濟大學 |
| 主分類號： | G01B7/06 | 分類號： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 薄膜 厚度 測試 裝置 | ||
1.一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，該測試裝置包括
緊壓在待測的薄膜樣品(11)上的電解池(9)，
與電解池(9)連接的儲液罐(6)，內部儲存測試用的電解液(7)，
所述的儲液罐(6)與電解池(9)的連接處設有節流閥(4)，
所述的電解池(9)內設有陰極電極(8)，側部設置導電銅柱(2)，該導電銅柱(2)上套設有與電解池(9)接觸連接的陽極導線接頭(3)。
2.根據權利要求1所述的一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，所述的儲液罐(6)經螺紋瓶口與電解池(9)嚙合連接。
3.根據權利要求1所述的一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，所述的電解池(9)與待測的薄膜樣品(11)的壓緊面上設有提高密封性能的橡膠密封圈(10)。
4.根據權利要求1所述的一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，所述的導電銅柱(2)帶有彈簧。
5.根據權利要求1所述的一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，所述的導電銅柱(2)與待測的薄膜樣品(11)導電連接。
6.根據權利要求1所述的一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，所述的電解池(9)為可拆卸式的電解池。
7.根據權利要求1-6中任一項所述的一種金屬薄膜厚度測試裝置，其特征在于，該測試裝置還包括底板(1)及下拉彈簧(5)，所述的待測的薄膜樣品(11)放置在底板(1)上，所述的下拉彈簧(5)分別與底板(1)及儲液罐(6)連接，改變電解池(9)對待測的薄膜樣品(11)的壓力。
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