[實用新型]一種應用于真空鍍膜機中高速耐磨的分子泵

有效

• 申請號: 201420738833.3
• 申請日: 2014-12-02
• 公開（公告）號: CN204281843U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 劉雙良
• 申請（專利權）人: 東莞市華星鍍膜科技有限公司;東莞市華星納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種應用于真空鍍膜機中高速耐磨的分子泵，所述的分子泵安裝在真空鍍膜機上，分子泵內成型有安裝葉輪和定子的腔體，葉輪套設在定子上以形成葉輪可繞定子轉動，其特征在于：所述的葉輪由葉輪輪盤與葉輪葉片固定連接組成，葉輪從里到外主要包括兩層結構，分別為葉輪基層和葉輪表層，其中，葉輪基層為鋁合金材質，葉輪表層為覆蓋在葉輪基層表面的保護膜層，保護膜層為鋁合金陽極氧化的氧化物膜層。

2.根據權利要求1所述的一種應用于真空鍍膜機中高速耐磨的分子泵，其特征在于：所述的套設在定子上的葉輪設置有至少10個。

3.根據權利要求2所述的一種應用于真空鍍膜機中高速耐磨的分子泵，其特征在于：所述的各個葉輪從上往下依次套設安裝在定子上。

4.根據權利要求1所述的一種應用于真空鍍膜機中高速耐磨的分子泵，其特征在于：所述的葉輪表層表面有若干微孔。

5.根據權利要求1或4所述的一種應用于真空鍍膜機中高速耐磨的分子泵，其特征在于：所述的葉輪可增設著色外層，著色外層通過葉輪表層的微孔吸附著色。