[實用新型]一種新型籽晶托盤有效
| 申請號： | 201420738187.0 | 申請日： | 2014-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN204281888U | 公開（公告）日： | 2015-04-22 |
| 發明（設計）人： | 周學芹;史玉芬;劉小利 | 申請（專利權）人： | 常州寶頤金剛石科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/12 | 分類號： | C30B25/12;C30B29/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 籽晶 托盤 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型籽晶托盤，其特征在于：用于微波等離子體化學氣相沉積裝置的諧振腔腔體(1)內，置于諧振腔腔體內的基臺(2)上，托盤(3)的中心端面開設有凹坑(4)，所述凹坑(4)出口端與托盤(3)端面所在水平面是由斜面(5)過渡連接，所述凹坑(4)大于等于1個且為方形孔。
2.根據權利要求1所述的一種新型籽晶托盤，其特征在于：所述凹坑(4)為1個時，位于托盤上端的中心部位。
3.根據權利要求1所述的一種新型籽晶托盤，其特征在于：所述凹坑(4)為多個時，對稱分布在托盤(3)上端的中心部位。
4.根據權利要求1所述的一種新型籽晶托盤，其特征在于：所述托盤(3)的直徑Φ為15～75mm，高度h1為10～80mm。
5.根據權利要求1所述的一種新型籽晶托盤，其特征在于：所述凹坑(4)形狀由兩種立體形狀組合而成，所述凹坑(4)的下部和中部呈四方體狀，上部呈正四棱臺狀。
6.根據權利要求1所述的一種新型籽晶托盤，其特征在于：上部正四棱臺狀凹坑(4)的橫截面為上底面大下底面小的結構，其中上底面邊長d2為4.5～13.5mm，下底面邊長與凹坑(4)中部四方體的底面邊長大小相同，為3.5～12.5mm，深度h3為0.5～1mm。
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