[實用新型]一種由氮化鎵中回收鎵的裝置

有效

• 申請號: 201420736886.1
• 申請日: 2014-11-28
• 公開（公告）號: CN204311117U
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 易德福;吳城;梁媛華
• 申請（專利權）人: 易德福
• 主分類號: C22B58/00
• 分類號: C22B58/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及半導體廢料回收的技術領域，具體為一種由氮化鎵中回收鎵的裝置。

背景技術

目前半導體行業生產氮化鎵的廢料很少用于回收提純出有價值的鎵，大多直接委外處置，而集中處置或者從其他廢料中回收鎵的方法也大多采用真空環境下熔化后再酸解的方法，其方法較為繁雜，不利于半導體企業內處置，企業的生產原材料成本高。

發明內容

針對上述問題，本實用新型提供了一種由氮化鎵中回收鎵的裝置，其使得從氮化鎵中回收鎵的工藝簡單、適用于半導體企業內自行處置，降低了企業的原材料成本。

一種由氮化鎵中回收鎵的裝置，其特征在于：其包括石英管，所述石英管的一端開口、另一端封閉并設置有氫氣管路進口，所述石英管的外環面布置有加熱裝置，所述石英管的開口端位置對應布置有卡套結構，所述卡套結構的出口端外接有抽氣管道，工作狀態下的所述石英管內放置有含氮化鎵的廢料，所述卡套密封套裝于所述石英管的開口端。

其進一步特征在于：所述抽氣管道布置有抽氣閥門，所述氫氣管路進口外接有氫氣管路，所述氫氣管路布置有氫氣閥門；

工作狀態下的所述石英管的開口端向上傾斜布置，其傾斜角度為30°～35°；

所述石英管的開口端的外環面套裝有密封膠圈，所述卡套結構的卡套端的內壁緊貼所述密封膠圈、完成對于所述石英管的開口端的密封；

所述密封膠圈具體為高強度石墨復合墊；

所述氫氣管路進口位于所述石英管另一端的靠近側環壁的位置，并確保工作狀態下的所述氫氣管路進口位于所述石英管的另一端的中心的上方位置，確保石英管傾斜時液態鎵不會從氫氣管路進口流出；

所述氫氣管路進口也可位于所述石英管另一端的側環壁，確保石英管傾斜時液態鎵不會從氫氣管路進口流出；

所述加熱裝置具體為碳纖維加熱絲，所述碳纖維加熱絲環布于所述石英管的外環面，并確保肉眼可以看到所述石英管內部的物體；

優選地，所述石英管可以為雙層石英管結構、包括內層石英管、外層石英管，此時所述氫氣管路進口貫穿所述外層石英管后連通所述內層石英管的內腔，所述碳纖維加熱絲環布于所述內層石英管、外層石英管之間的空腔內；

所述內層石英管、外層石英管之間的空腔內布置有耐高溫測溫儀，所述耐高溫測溫儀的感應部分緊貼所述內層石英管；

所述耐高溫測溫儀具體為紅外測溫儀。

采用本實用新型的后，半導體企業只需石英管、氫氣通路、加熱裝置、抽氣管道結構，即可組裝成一套由氮化鎵中回收鎵的裝置，而后將含氮化鎵的廢料置于僅含有氫氣的石英管內，且氫氣連續輸入，之后將石英管加熱至750℃～900℃，使得氮化鎵與氫氣在石英管中發生發應，從石英管外接的抽?氣管道抽取石英管中生成的氨氣、將氨氣收集并集中處理，待氮化鎵完全由固態轉化為液態后關閉氫氣輸入，抽氣管道繼續抽氣1min～2min后關閉抽氣管道，降溫至25℃～35℃，打開封閉容器并取出提純的鎵，其使得從氮化鎵中回收鎵的工藝簡單、適用于半導體企業內自行處置，降低了企業的原材料成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的由氮化鎵中回收鎵的裝置的結構示意簡圖；

圖2為本實用新型的由氮化鎵中回收鎵的裝置的具體實施例結構示意簡圖；

圖中序號所對應的名稱如下：

石英管1、氫氣管路進口2、加熱裝置3、卡套結構4、抽氣管道5、抽氣閥門6、氫氣管路7、內層石英管1-1、外層石英管1-2、密封膠圈8、耐高溫測溫儀9。

具體實施方式

一種由氮化鎵中回收鎵的裝置，見圖1：封閉容器為石英管1，石英管的一端開口、另一端封閉并設置有氫氣管路進口2，石英管1的外環面布置有加熱裝置3，石英管1的開口端位置對應布置有卡套結構4，卡套結構4的出口端外接有抽氣管道5，工作狀態下的石英管1內放置有含氮化鎵的廢料，卡套結構4密封套裝于石英管1的開口端，抽氣管道5布置有抽氣閥門6，氫氣管路進口2外接有氫氣管路7，氫氣管路7布置有氫氣閥門(圖中未畫出，屬于現有成熟結構)，工作狀態下的石英管1的開口端向上傾斜布置，其傾斜角度為30°～35°，便于通氫氣時氫氣與氮化鎵完全反應；

石英管1的開口端的外環面套裝有密封膠圈8，卡套結構4的卡套端的內壁緊貼密封膠圈8、完成對于石英管1的開口端的密封；密封膠圈8具體為高強度石墨復合墊，高強度石墨復合墊可耐1000℃的溫度，可確保石英管1加熱至750℃～900℃時仍然密封；