[實用新型]一種拋光機定盤盤面的修復裝置有效
| 申請號： | 201420736733.7 | 申請日： | 2014-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN204262959U | 公開（公告）日： | 2015-04-15 |
| 發明（設計）人： | 易德福;吳城;梁媛華 | 申請（專利權）人： | 易德福 |
| 主分類號： | B24B37/10 | 分類號： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 100000 北京市海淀*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 拋光機 盤盤 修復 裝置 | ||
1.一種拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于，包括拋光機定盤和與所述拋光機定盤配合使用的噴淋機構和研磨機構；
其中所述拋光機定盤上設有定盤盤面和一環形集水槽，所述集水槽設置在所述拋光機定盤上端部的外側邊沿上，所述定盤盤面設置在所述拋光機定盤上端部的中部，所述定盤盤面所在的平面高于所述集水槽所在的平面；
所述噴淋機構包括一研磨液輸送管道和一與所述研磨液輸送管道連通的噴淋頭，所述噴淋頭通過機械臂移動到所述拋光機定盤的上方，所述噴淋頭上設有一研磨液控制開關；
所述研磨機構包括拋光頭和一安裝在所述拋光頭上的研磨盤，所述拋光頭中部設有一用于帶動所述拋光頭和所述研磨盤轉動的轉軸。
2.如權利要求1所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：還包括一平整度檢測機構。
3.如權利要求2所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：還包括一用于移動所述噴淋機構的第一機械臂。
4.如權利要求3所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：還包括一用于移動所述研磨機構的第二機械臂。
5.如權利要求4所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：還包括一用于控制所述第一機械臂和/或所述第二機械臂和/或所述研磨液控制開關動作的控制芯片。
6.如權利要求1-5任一所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：所述集水槽上設有一排液口。
7.如權利要求6所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：所述定盤盤面所在的平面高于所述集水槽所在的平面0.5-1厘米。
8.如權利要求7所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：所述集水槽的橫截面直徑為1.5-2.5厘米。
9.如權利要求2所述的拋光機定盤盤面的修復裝置，其特征在于：所述平整度檢測機構為平整度檢測儀。
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