[實用新型]硅芯爐籽晶懸掛及卸放裝置

有效

• 申請號: 201420735841.2
• 申請日: 2014-11-29
• 公開（公告）號: CN204342919U
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發明（設計）人: 龍加祥;王小龍
• 申請（專利權）人: 內蒙古神舟硅業有限責任公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型涉及一種硅芯爐的配套設備，尤其涉及一種硅芯爐籽晶懸掛及卸放裝置。

背景技術：

硅芯爐主要用于多晶硅沉積載體硅芯的拉制設備。其原理是一定直徑和長度的多晶硅柱狀棒料，垂直處于一定壓力的氬氣氛圍的密閉爐筒內，多晶硅柱狀棒料上端表面在高頻磁場的作用下熔化為液態。籽晶盤夾持著一組籽晶在鋼絲繩牽引下依靠自身重量作用自上而下，籽晶穿過高頻線圈后與多晶硅柱狀棒料上端液態部分熔接。而后，鋼絲繩在伺服電機的牽引下，按一定速度緩慢提升，于此同時在液體張力的作用下，籽晶帶動液態硅料上升、冷卻、凝固，如此，提升高度達到一定尺寸時便完成一組硅芯拉制。原使用的硅芯爐，一臺爐每次只能拉制一組5根硅芯便停爐取出硅芯換上新的籽晶。

實用新型內容：

本實用新型的目的在于提供一種提高多芯硅芯爐生產效率的硅芯爐籽晶懸掛及卸放裝置。

本實用新型由如下技術方案實施：硅芯爐籽晶懸掛及卸放裝置，其包括連接吊桿和圓盤形卸放架，在硅芯爐的提拉系統一側設有的伺服電機；所述伺服電機的電機軸豎直設置；水平設置的所述圓盤形卸放架的中心孔與所述伺服電機軸通過槽鍵相連；在所述卸放架上設有以所述卸放架圓心為圓心的圓弧形通孔；所述連接吊桿分體活動安裝在所述圓弧形通孔內；所述連接吊桿頂部設有連接頭，在所述連接吊桿底部與籽晶盤通過槽鍵固定連接；在所述連接頭下方的連接吊桿上設有所述放置圓盤，在所述放置圓盤的外沿上設有定位凹槽。

在所述圓弧形通孔的中部為拉晶位；所述拉晶位外側的所述圓盤形卸放架為敞口結構，在所述拉晶位內側的所述圓盤形卸放架上設有與所述連接吊桿外壁形狀對應的弧形凹槽；所述拉晶位一側的所述圓弧形通孔為籽晶放置軌道，在所述籽晶放置軌道內均勻排列設有兩個以上的籽晶放置位；所述拉晶位另一側的所述圓弧形通孔為硅芯放置軌道，在所述硅芯放置軌道內均勻排列設有與所述籽晶放置位數量對應的硅芯放置位；在每個所述籽晶放置位和所述硅芯放置位的所述圓弧形通孔邊緣均設有與所述連接吊桿的放置圓盤形狀對應的弧形卸放槽沿；在每個所述籽晶放置位內側的所述卸放槽沿上豎直設有與所述定位凹槽形狀對應的定位銷釘，所述弧形卸放槽沿的圓心、所述定位銷釘的中心和所述圓盤形卸放架的圓心置于一條直線上。

本實用新型的優點：

連接吊桿和圓盤形卸放架結構簡單實用，連接吊桿的夾持及卸放切換過程流暢，手動、電動均可自如控制；特別是該裝置確保了籽晶盤被夾持后籽晶與多孔高頻線圈的相對應的方向性不發位移。提高了硅芯爐籽晶盤放置的準確度，縮短籽晶放置及調整時間，使硅芯爐的生產效率大幅升。

附圖說明：

圖1為連接吊桿的結構示意圖。

圖2為圓盤形卸放架的結構示意圖。

圖3為圓盤形卸放架的使用示意圖。

圖4為本實用新型的使用示意圖。

連接吊桿1、圓盤形卸放架2、硅芯爐3、提拉系統4、伺服電機電機軸5、中心孔6、圓弧形通孔7、連接頭8、籽晶盤9、放置圓盤10、定位凹槽11、拉晶位12、弧形凹槽13、籽晶放置軌道14、籽晶放置位15、硅芯放置軌道16、硅芯放置位17、弧形卸放槽沿18、定位銷釘19。