[實用新型]一種新型焊管裝置

有效

• 申請號: 201420734899.5
• 申請日: 2014-11-28
• 公開（公告）號: CN204224430U
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 易德福;吳城;張明文
• 申請（專利權）人: 易德福
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;C01G28/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及一種新型焊管裝置，屬于半導體合成技術領域。

背景技術

半導體行業砷化鎵合成需在密封的石英管中進行，石英管一般一段密封，一段開口以便于放置砷和鎵，開口部分密封時需將石英管帽套進石英管中，在高溫焊接區進行高溫焊接。目前此工藝多采用氫、氧焊接，人工進行。此工藝的缺點是：1、人工操作不便，高溫狀態下，會對員工身體造成傷害；2、氫氣易爆，操作不當會發生爆炸；3、石英管受熱不均勻，會發生焊接不完全，石英管漏氣的現象。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為克服上述問題，提供一種安全進行半導體砷化鎵合成的新型焊管裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種新型焊管裝置，包括石英管，所述石英管的外壁上設置有電加熱單元，所述電加熱單元在所述石英管內形成高溫焊管區，所述石英管內在高溫焊管區里設置有石英管帽，所述石英管帽的邊緣與所述石英管的內壁貼合，所述石英管的管口與卡套連接處設置有第一密封膠圈，所述卡套與真空機連通。

優選地，所述石英管帽與所述第一密封膠圈之間設置有滯移單元。

優選地，所述滯移單元為石英棒或石英卡套，并可移動。

優選地，所述卡套通過真空管與所述真空機連通，所述卡套與所述真空管連接處設置有第二密封膠圈。

優選地，電加熱單元為電加熱絲，所述電加熱絲纏繞在所述石英管的外壁上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的裝置進行砷化鎵合成時可避免氫、氧焊接時發生意外爆炸；采用電加熱方式不需近距離操作，且能使石英管受熱均勻，保證操作員工安全及石英管氣密性；還避免了大量氫、氧氣體保存，消除隱性安全隱患；還采用兩道密封膠圈，既保障石英管口在抽真空時不被損壞，又保障裝置氣密性良好；滯移單元保證石英管帽不偏離高溫焊管區，有利于焊接操作；大大降低能源消耗，節約能源，降低成本，降低安全事故的發生率。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型一個實施例的主視圖。

圖中標記：1-石英管，2-石英管帽，3-電加熱單元，4-第一密封膠圈，5-卡套，6-第二密封膠圈，7-真空管，8-真空機，9-滯移單元。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的本實用新型所述一種新型焊管裝置，包括石英管1，所述石英管1的外壁上設置有電加熱單元3，所述電加熱單元3在所述石英管1內形成高溫焊管區，本裝置采用電加熱的方式，安全并且石英管1受熱均勻，保障石英管1內完全密封，防止砷泄漏，所述石英管1內在高溫焊管區里設置有石英管帽2，所述石英管帽2的邊緣與所述石英管1的內壁貼合，所述石英管1的管口與卡套5連接處設置有第一密封膠圈4，所述卡套5與真空機8連通，本裝置改進了氫、氧氣混合加熱工藝，避免意外爆炸事故的發生，同時避免了人工焊接加熱石英管1時可能造成受熱不均勻，導致焊接不完全發生泄漏的問題。

在優選的實施方案中，所述石英管帽2與所述第一密封膠圈4之間設置有滯移單元9并可移動，便于放置石英管帽2，同時保證抽真空時石英管帽2不偏離高溫焊管區。

在優選的實施方案中，所述滯移單元9為石英棒或石英卡套5，但不限定于此，還可以根據需要進行其他選擇。

在優選的實施方案中，所述卡套5通過真空管7與所述真空機8連通，所述卡套5與所述真空管7連接處設置有第二密封膠圈6。

在優選的實施方案中，電加熱單元3為電加熱絲，所述電加熱絲纏繞在所述石英管1的外壁上，但不限于電加熱絲，還可以為其他加熱裝置。

本裝置的操作步驟如下：

一、將石英管帽2放置于石英管1中，將石英管1放入卡套5內，打開真空機8逐漸將石英管1中的空氣抽出；

二、抽真空時，石英管帽2隨因為氣壓差移動，因此卡套5內的滯移單元9會阻止石英管帽2位移過大，影響焊接效果；石英管1開口以及裝置卡套5里側均設有密封膠圈，抽真空過程中無漏氣發生；

三、石英管1和石英管帽2固定好后，打開電源，加熱石英管1，石英管1中管內壁和石英管帽2的邊緣緊緊貼住，當溫度加熱到1300～1350℃時，將兩者焊接結實，石英管1內為密封狀態，可進行砷化鎵合成工藝。

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。