[實(shí)用新型]一種單晶爐熱場結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420733607.6
• 申請日: 2014-11-27
• 公開（公告）號: CN204251762U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳五奎;李軍;馮加保;徐文州;耿榮軍
• 申請（專利權(quán)）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B15/30
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227
• 代理人: 李玉興

1.一種單晶爐熱場結(jié)構(gòu)，包括上爐膛(1)、下爐膛(2)，上爐膛(1)設(shè)置在下爐膛(2)上方且上爐膛(1)通過隔離閥(3)固定在下爐膛(2)頂部，所述上爐膛(1)頂部設(shè)置有籽晶旋轉(zhuǎn)提升機(jī)構(gòu)(4)，所述下爐膛(2)內(nèi)設(shè)置有保溫筒(5)，所述保溫筒(5)內(nèi)設(shè)置有石墨坩堝(6)，所述石墨坩堝(6)內(nèi)設(shè)有石英坩堝(7)，石墨坩堝(6)外側(cè)設(shè)置有加熱器(8)，加熱器(8)位于保溫筒(5)內(nèi)，所述加熱器(8)通過加熱電極(9)固定在下爐膛(2)底部，下爐膛(2)的頂部連接有氬氣管(10)，所述氬氣管(10)穿過下爐膛(2)伸入到下爐膛(2)內(nèi)，所述下爐膛(2)的下部設(shè)置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上連接有排放管(12)，排放管(12)末端連接有真空泵(13)，真空泵(13)的進(jìn)口與排放管(12)的出口相連，所述石英坩堝(7)上方設(shè)置有籽晶夾持裝置(14)，所述籽晶夾持裝置(14)通過傳動桿(15)與籽晶旋轉(zhuǎn)提升機(jī)構(gòu)(4)相連，所述石墨坩堝(6)底部設(shè)置有坩堝旋轉(zhuǎn)頂升機(jī)構(gòu)(16)，所述石墨坩堝(6)與坩堝旋轉(zhuǎn)頂升機(jī)構(gòu)(16)設(shè)置有圓形的石墨托板(17)，其特征在于：所述坩堝旋轉(zhuǎn)頂升機(jī)構(gòu)(16)包括固定在石墨托板(17)底部的旋轉(zhuǎn)軸(161)，所述旋轉(zhuǎn)軸(161)上固定有旋轉(zhuǎn)齒輪(162)，所述旋轉(zhuǎn)軸(161)底部設(shè)置有底座(163)，所述旋轉(zhuǎn)軸(161)通過軸承固定在底座(163)上，所述底座(163)上設(shè)置有驅(qū)動電機(jī)(164)，所述驅(qū)動電機(jī)(164)的輸出軸上設(shè)置有驅(qū)動齒輪(165)，所述驅(qū)動齒輪(165)與旋轉(zhuǎn)齒輪(162)互相嚙合，所述底座(163)下方設(shè)置有用于使底座(163)上下移動的升降裝置(166)。

2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐熱場結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述升降裝置(166)為液壓氣缸。

3.如權(quán)利要求2所述的單晶爐熱場結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述保溫筒(5)與下爐膛(2)的內(nèi)壁之間設(shè)置有保溫氈(30)，所述保溫筒(5)的內(nèi)壁上涂有熱輻射反射層(31)。