[實用新型]直拉法單晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420733586.8
• 申請日: 2014-11-27
• 公開（公告）號: CN204251757U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳五奎;李軍;耿榮軍;樊茂德;馮加保
• 申請（專利權(quán)）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227
• 代理人: 李玉興

1.直拉法單晶爐，包括上爐膛(1)、下爐膛(2)，上爐膛(1)設(shè)置在下爐膛(2)上方且上爐膛(1)通過隔離閥(3)固定在下爐膛(2)頂部，所述上爐膛(1)頂部設(shè)置有籽晶旋轉(zhuǎn)提升機(jī)構(gòu)(4)，所述下爐膛(2)內(nèi)設(shè)置有保溫筒(5)，所述保溫筒(5)內(nèi)設(shè)置有石墨坩堝(6)，所述石墨坩堝(6)內(nèi)設(shè)有石英坩堝(7)，石墨坩堝(6)外側(cè)設(shè)置有加熱器(8)，加熱器(8)位于保溫筒(5)內(nèi)，所述加熱器(8)通過加熱電極(9)固定在下爐膛(2)底部，下爐膛(2)的頂部連接有氬氣管(10)，所述氬氣管(10)穿過下爐膛(2)伸入到下爐膛(2)內(nèi)，所述下爐膛(2)的下部設(shè)置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上連接有排放管(12)，排放管(12)末端連接有真空泵(13)，真空泵(13)的進(jìn)口與排放管(12)的出口相連，所述石英坩堝(7)上方設(shè)置有籽晶夾持裝置(14)，所述籽晶夾持裝置(14)通過傳動桿(15)與籽晶旋轉(zhuǎn)提升機(jī)構(gòu)(4)相連，所述石墨坩堝(6)底部設(shè)置有坩堝旋轉(zhuǎn)頂升機(jī)構(gòu)(16)，所述石墨坩堝(6)與坩堝旋轉(zhuǎn)頂升機(jī)構(gòu)(16)設(shè)置有圓形的石墨托板(17)，其特征在于：所述下爐膛(2)底部設(shè)置有吸氣板(21)，所述吸氣板(21)水平設(shè)置，所述吸氣板(21)為夾層結(jié)構(gòu)，包括第二上層板(211)與第二下層板(212)，所述第二上層板(211)與第二下層板(212)之間密封形成第二夾層空間(213)，所述真空抽口(11)與第二夾層空間(213)連通，所述第二上層板(211)上設(shè)置有多個第二透氣孔(214)，所述多個第二透氣孔(214)在第二上層板(211)上均布設(shè)置。

2.如權(quán)利要求1所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述真空泵(13)的進(jìn)口與真空抽口(11)之間設(shè)置有旁路管(22)，所述旁路管(22)上設(shè)置有用于使旁路管(22)導(dǎo)通或關(guān)閉的旁通閥(23)，所述排放管(12)上設(shè)置有用于使排放管(12)導(dǎo)通或關(guān)閉的工藝閥(24)，所述旁路管(22)的內(nèi)徑為排放管(12)內(nèi)徑的1/3-1/2。

3.如權(quán)利要求2所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述工藝閥(24)、旁通閥(23)均為電磁閥，所述工藝閥(24)上連接有第一觸發(fā)式開關(guān)(25)，所述旁通閥(23)上連接有第二觸發(fā)式開關(guān)(26)，所述下爐膛(2)內(nèi)設(shè)置有真空計(27)，還包括控制器(28)，所述第一觸發(fā)式開關(guān)(25)、第二觸發(fā)式開關(guān)(26)、真空計(27)分別與控制器(28)電連接。

4.如權(quán)利要求3所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述氬氣管(10)上設(shè)置有氣體加熱裝置(29)，所述氣體加熱裝置(29)包括柱狀基體(291)，所述柱狀基體(291)內(nèi)設(shè)置有圓柱形的氣體加熱空腔(292)，所述柱狀基體(291)上設(shè)置有與氣體加熱空腔(292)連通的進(jìn)氣口與出氣口，所述進(jìn)氣口通過氣管與氬氣源(293)連通，所述出氣口與氬氣管(10)連通，所述柱狀基體(291)的表面纏繞有加熱絲(294)，所述加熱絲(294)連接在電源(295)上。

5.如權(quán)利要求4所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述加熱絲(294)與電源(295)之間設(shè)置有溫控表(296)，所述氣體加熱空腔(292)內(nèi)設(shè)置有溫度探頭(297)，所述溫度探頭(297)與溫控表(296)相連接。

6.如權(quán)利要求5所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述坩堝旋轉(zhuǎn)頂升機(jī)構(gòu)(16)包括固定在石墨托板(17)底部的旋轉(zhuǎn)軸(161)，所述旋轉(zhuǎn)軸(161)上固定有旋轉(zhuǎn)齒輪(162)，所述旋轉(zhuǎn)軸(161)底部設(shè)置有底座(163)，所述旋轉(zhuǎn)軸(161)通過軸承固定在底座(163)上，所述底座(163)上設(shè)置有驅(qū)動電機(jī)(164)，所述驅(qū)動電機(jī)(164)的輸出軸上設(shè)置有驅(qū)動齒輪(165)，所述驅(qū)動齒輪(165)與旋轉(zhuǎn)齒輪(162)互相嚙合，所述底座(163)下方設(shè)置有用于使底座(163)上下移動的升降裝置(166)。

7.如權(quán)利要求6所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述升降裝置(166)為液壓氣缸。

8.如權(quán)利要求7所述的直拉法單晶爐，其特征在于：所述保溫筒(5)與下爐膛(2)的內(nèi)壁之間設(shè)置有保溫氈(30)，所述保溫筒(5)的內(nèi)壁上涂有熱輻射反射層(31)。