[實用新型]微機電環形可變電容和三軸微機電陀螺儀

有效

• 申請號: 201420732602.1
• 申請日: 2014-11-27
• 公開（公告）號: CN204188168U
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 張廷凱
• 申請（專利權）人: 歌爾聲學股份有限公司
• 主分類號: G01C19/5684
• 分類號: G01C19/5684
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 馬佑平;馬鐵良

1.一種微機電的環形可變電容，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板上的環形上極板，其中心為原點；

四個下極板；

以及支撐結構；

所述環形上極板通過支撐結構懸置于所述下極板的上方，所述支撐結構位于環形可變電容的環孔內并且與所述環形上極板的內沿連接，所述支撐結構在原點處通過第一錨點固定于基板上；

所述四個下極板固定在基板上并且正對所述環形上極板，分為兩組：第一組下極板沿x軸在原點的兩側對稱分布且組內的兩個下極板形狀相同，第二組下極板沿y軸在原點的兩側對稱分布且組內的兩個下極板形狀相同。

2.如權利要求1所述的環形可變電容，其特征在于：

所述環形上極板為圓環形狀或方環形狀。

3.如權利要求1所述的環形可變電容，其特征在于：

所述下極板排布組成的形狀與所述環形上極板的形狀相匹配。

4.如權利要求1所述的環形可變電容，其特征在于：

所述支撐結構包括一圓環、三條連接梁、以及一條支撐梁；

兩條所述連接梁沿y軸分布，第三條所述連接梁沿x軸分布，所述連接梁的一端與所述圓環連接，另一端與所述環形上極板的內沿連接；

所述支撐梁沿x軸分布，所述支撐梁的一端連接所述圓環，另一端在原點處通過所述第一錨點固定在基板上；

其中，所述第三條連接梁和所述支撐梁位于x軸的不同方向。

5.如權利要求1所述的環形可變電容，其特征在于：

所述支撐結構包括一圓環、兩連接梁、以及兩條支撐梁；

兩條所述連接梁沿y軸分布，所述連接梁的一端與所述圓環連接，另一端與所述環形上極板的內沿連接；

兩條所述支撐梁沿x軸分布，所述支撐梁的一端連接所述圓環，另一端在原點處通過所述第一錨點固定在基板上。

6.如權利要求1所述的環形可變電容，其特征在于：

所述支撐結構包括同心的內圓環和外圓環、兩條內環支撐梁、兩條內外環連接梁、以及四條外環連接梁；

所述四條外環連接梁的一端分別與外圓環連接，另一端分別與所述環形上極板的內沿連接；所述外環連接梁分成兩個一組，其中一組沿x軸分布，另一組沿y軸分布；

所述兩條內環支撐梁的一端分別與內圓環連接，另一端通過所述第一錨點固定于所述基板上；

所述兩條內外環連接梁的一端分別與內圓環連接，另一端分別與外圓環連接；

所述內環支撐梁沿y軸分布且所述內外環連接梁沿x軸分布，或者，所述內環支撐梁沿x軸分布且所述內外環連接梁沿y軸分布。

7.如權利要求1所述的環形可變電容，其特征在于：

所述環形上極板和所述支撐結構為一體結構。

8.一種三軸微機電陀螺儀，其特征在于，包括如權利要求1-7任一項所述的環形可變電容，所述第一組下極板與其對應部分的環形上極板相配合構成一組第一檢測電容，所述第二組下極板與其對應部分的環形上極板相配合構成另一組第一檢測電容；

還包括：

兩組驅動電容，位于所述環形可變電容的外側且沿y軸在原點的兩側對稱分布，每組所述驅動電容都包括互相配合的可動驅動電極和固定驅動電極，其中所述可動驅動電極與所述外框架的外側邊連接；

兩組第二檢測電容，位于所述環形可變電容的外側且沿x軸在原點的兩側對稱分布，每組所述第二檢測電容都包括互相配合的可動檢測電極和固定檢測電極，其中所述可動檢測電極與所述外框架的外側邊連接；

聯動部，分別與所述可動驅動電極、所述可動檢測電極、以及所述環形上極板的外沿連接。

9.如權利要求8所述的三軸微機電陀螺儀，其特征在于：

所述可動驅動電極和固定驅動電極為梳齒狀電極。

10.如權利要求8所述的三軸微機電陀螺儀，其特征在于：

所述可動檢測電極和固定檢測電極為梳齒狀電極。