[實用新型]一種干刻機有效
| 申請號: | 201420727801.3 | 申請日: | 2014-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN204216014U | 公開(公告)日: | 2015-03-18 |
| 發明(設計)人: | 徐巖 | 申請(專利權)人: | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人: | 劉付興 |
| 地址: | 215300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 干刻機 | ||
1.一種干刻機,其特征在于,包括固定板和電源線,所述固定板上設有鋁框和石英板,所述石英板嵌設于所述鋁框內部,所述鋁框通過所述電源線外接直流電源。
2.根據權利要求1所述的干刻機,其特征在于,所述電源線為銅線,所述銅線的直徑為1cm~4cm。
3.根據權利要求1所述的干刻機,其特征在于,所述直流電源為50v-200v且電流大小能夠調節的電源。
4.根據權利要求1所述的干刻機,其特征在于,所述電源線安裝于所述鋁框的四周或鋁框的內部。
5.根據權利要求1所述的干刻機,其特征在于,所述干刻機還包括電源箱,所述直流電源由干刻機的電源箱提供。
6.根據權利要求5所述的干刻機,其特征在于,所述電源箱通過電源接線連接至直流電源接線端,所述直流電源接線端通過所述電源線連接所述鋁框。
7.根據權利要求6所述的干刻機,其特征在于,所述鋁框通過一條電源線連接至直流電源接線端。
8.根據權利要求1所述的干刻機,其特征在于,所述鋁框由縱向和橫向交錯設置的多個鋁條構成,且多個鋁條之間形成有多個方格,所述石英板嵌設于所述方格內。
9.根據權利要求8所述的干刻機,其特征在于,所述縱向和橫向交錯設置的各個鋁條分別通過一條單獨的電源線連接至直流電源接線端。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





