[實(shí)用新型]異構(gòu)電機(jī)共定子多驅(qū)動宏微一體化高速精密運(yùn)動二維平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420723955.5
• 申請日: 2014-11-26
• 公開（公告）號: CN204248537U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王夢;楊志軍;陳新;白有盾;高健;李涵雄;黃宇涵;李成祥;王江龍;余明峰;劉浩文;李振新;鐘裕導(dǎo);劉偉光;楊海東;管貽生;陳新度
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: B23Q5/28
• 分類號: B23Q5/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 韓國勝;胡彬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及精密運(yùn)動平臺，尤其涉及異構(gòu)電機(jī)共定子多驅(qū)動宏微一體化高速精密運(yùn)動二維平臺。

背景技術(shù)

隨著科技的進(jìn)步，人們對產(chǎn)品的要求越來越高，促使生產(chǎn)商對產(chǎn)品的加工精度要求也越來越高，現(xiàn)有設(shè)備中高精度進(jìn)給運(yùn)動平臺的行程普遍較短，而大行程的普通宏運(yùn)動設(shè)備的精度又無法滿足實(shí)際需求，如果采用專用的大行程高精度運(yùn)動設(shè)備，產(chǎn)品的制造成本將大幅增加。針對上述現(xiàn)狀，一種能將大行程一般精度的宏運(yùn)動和高精度小行程的微運(yùn)動相復(fù)合的可以實(shí)現(xiàn)大行程高精度進(jìn)給，且具有多方向的運(yùn)動平臺越來越受到行業(yè)的青睞。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提出異構(gòu)電機(jī)共定子多驅(qū)動宏微一體化高速精密運(yùn)動二維平臺，采用共用定子實(shí)現(xiàn)二維宏微運(yùn)動的大行程高精度的進(jìn)給。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

異構(gòu)電機(jī)共定子多驅(qū)動宏微一體化高速精密運(yùn)動二維平臺，包括X向基座、Y向基座和一體化平臺；

所述一體化平臺包括宏動外框架和微動平臺，所述微動平臺包括X向微平臺、X向彈片組、Y向微平臺、Y向彈片組和Y向微驅(qū)動，具有彈性的所述X向彈片組設(shè)置于所述X向微平臺的兩側(cè)，其一端連接于所述宏動外框架的內(nèi)側(cè)壁，另一端連接于所述X向微平臺；具有彈性的所述Y向彈片組設(shè)置于所述Y向微平臺的兩側(cè)，其一端連接于所述X向微平臺的內(nèi)側(cè)壁，另一端連接于所述Y向微平臺；所述X向彈片組和Y向彈片組相互垂直，用于放置工件的工作平臺剛性連接于所述Y向微平臺；

所述X向基座設(shè)置有X向?qū)к墶向滑塊和X向U型直線電機(jī)，所述X向滑塊可滑動于所述X向?qū)к墸鯴向U型直線電機(jī)包括X向定子、宏動外框架動子、X向微動平臺動子和連接件，X向運(yùn)動和X向微運(yùn)動共用同一個(gè)所述X向定子；

所述宏動外框架固定安裝于所述X向滑塊，并通過所述連接件連接于所述宏動外框架動子，由所述宏動外框架動子、所述X向微動平臺動子和所述X向定子控制其滑動于所述X向?qū)к墝?shí)現(xiàn)X向宏運(yùn)動；

所述Y向微驅(qū)動包括Y向微音圈電機(jī)和Y向微連接板，所述Y向微音圈電機(jī)固定于所述Y向微連接板，所述Y向微連接板固定于所述X向微平臺的底部，所述Y向微平臺由所述Y向微音圈電機(jī)控制其在Y向的微運(yùn)動；

所述Y向微連接板的底部通過連接件于所述X向微動平臺動子，并由所述X向微動平臺動子控制其在所述X向定子在X向的微運(yùn)動；

所述Y向基座設(shè)置有Y向?qū)к墶向滑塊和Y向平板直線電機(jī)，所述Y向?qū)к壴O(shè)置在所述Y向基座表面上的兩側(cè)，所述Y向滑塊可滑動于所述Y向?qū)к墸鯵向平板直線電機(jī)安裝于任一側(cè)的所述Y向?qū)к壣希鯴向基座在X方向上的兩側(cè)通過固定于所述Y向滑塊，并通過宏動連接件連接于所述Y向平板直線電機(jī)的動子，并由所述Y向平板直線電機(jī)控制其滑動于所述Y向?qū)к墝?shí)現(xiàn)Y向宏運(yùn)動。

更進(jìn)一步說明，所述宏動外框架動子設(shè)置有兩個(gè)，分別設(shè)置在所述宏動外框架的進(jìn)給方向的兩端。

更進(jìn)一步說明，所述X向微平臺、所述X向彈片組、所述Y向微平臺、所述Y向彈片組、所述工作平臺和所述宏動外框架為一體式結(jié)構(gòu)。

更進(jìn)一步說明，所述的X向彈片組和Y向彈片組中各自的彈片均為平行布置，且彈片的長度方向分別垂直于X向微平臺和Y向微平臺的進(jìn)給方向。

更進(jìn)一步說明，所述宏動外框架在其與所述X向彈片組的相連接處設(shè)置有X向槽，使所述宏動外框架的內(nèi)側(cè)形成較薄的可變形的X向微平臺彈性件。

更進(jìn)一步說明，所述宏動外框架31設(shè)有調(diào)節(jié)X向微平臺彈性件變形度的X向頻率調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

更進(jìn)一步說明，所述X向頻率調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為穿過所述X向槽的螺栓，其兩端分別連接于所述X向槽的兩側(cè)。

更進(jìn)一步說明，所述Y向微平臺在其內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)角處設(shè)置有圓弧形內(nèi)嵌式孔槽。

更進(jìn)一步說明，在所述X向微平臺和所述Y向微平臺的進(jìn)給方向的端部分別設(shè)置有X向位移傳感器和Y向位移傳感器。

更進(jìn)一步說明，所述X向位移傳感器或所述Y向位移傳感器為差動電容傳感器或光電傳感器。