[實(shí)用新型]噴嘴

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420719974.0
• 申請(qǐng)日: 2014-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204251348U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫強(qiáng);萬(wàn)燁;嚴(yán)大洲;湯傳斌;喬兵超
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)恩菲工程技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/035
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/035
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種噴嘴。

背景技術(shù)

多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中，還原爐是生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，主要含有三氯氫硅和氫氣的混合氣經(jīng)由混合氣噴嘴進(jìn)入爐腔內(nèi)，在高溫高壓下完成反應(yīng)，生成的硅沉積在硅芯棒上。一般混合氣噴嘴的氣體速度只能隨著氣量的變化而變化，在混合氣流量較小時(shí)噴嘴出口處的流速較小，混合氣達(dá)不到硅棒頂端，影響爐內(nèi)熱場(chǎng)分布，造成硅棒上端局部溫度較高，生成菜花狀多晶硅，嚴(yán)重時(shí)出現(xiàn)燒流等熔硅現(xiàn)象。

現(xiàn)有技術(shù)的噴嘴不能根據(jù)氣量大小自行調(diào)節(jié)流速，進(jìn)而滿(mǎn)足多晶硅棒正常生長(zhǎng)的問(wèn)題。尤其是在還原爐啟爐初始階段，混合氣氣量較小時(shí)，原固定噴嘴噴出的氣體流速較小，會(huì)導(dǎo)致混合氣達(dá)不到硅芯頂端，而造成硅芯上部溫度較高，出現(xiàn)燒流或打火現(xiàn)象，中后期會(huì)出現(xiàn)表面粗糙甚至菜花狀外觀的現(xiàn)象，大大降低了多晶硅的外觀品質(zhì)，不利于產(chǎn)品處理和銷(xiāo)售。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在提供一種根據(jù)流體的流量的大小自行調(diào)節(jié)流速的噴嘴。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種噴嘴，噴嘴包括：噴嘴本體，噴嘴本體內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體；浮子，浮子包括浮子本體，浮子本體的外周面與腔體的內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙；其中，腔體呈錐形，浮子相對(duì)于噴嘴本體沿腔體的進(jìn)口端和腔體的出口端的連線的方向可移動(dòng)地設(shè)置并具有朝向腔體的進(jìn)口端移動(dòng)的趨勢(shì)，浮子沿進(jìn)口端至出口端的方向移動(dòng)的過(guò)程中流通間隙逐漸增大。

進(jìn)一步地，腔體為豎直設(shè)置，腔體的出口端位于腔體的進(jìn)口端的上方。

進(jìn)一步地，噴嘴還包括用于驅(qū)動(dòng)浮子沿腔體的出口端至腔體的進(jìn)口方向移動(dòng)的彈性驅(qū)動(dòng)部。

進(jìn)一步地，浮子還包括與浮子本體同軸設(shè)置的錐形導(dǎo)流部，錐形導(dǎo)流部設(shè)置在浮子本體的朝向腔體的進(jìn)口端的一端，錐形導(dǎo)流部的錐形角大于腔體的內(nèi)周面的錐形角。

進(jìn)一步地，浮子本體呈圓錐形，浮子本體的錐度與腔體的錐度相同。

進(jìn)一步地，浮子以其軸心為旋轉(zhuǎn)中心可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置，浮子本體的外周面上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)流槽，導(dǎo)流槽相對(duì)于浮子本體的母線傾斜，多個(gè)導(dǎo)流槽的傾斜方向一致。

進(jìn)一步地，噴嘴還包括與腔體的延伸方向一致的導(dǎo)向件，浮子相對(duì)于噴嘴本體沿導(dǎo)向件的延伸方向可移動(dòng)地設(shè)置。

進(jìn)一步地，噴嘴還包括限位件，限位件與導(dǎo)向件連接，限位件設(shè)置在浮子由腔體的進(jìn)口端向腔體的出口端的方向移動(dòng)的路徑上。

進(jìn)一步地，導(dǎo)向件為導(dǎo)向管，導(dǎo)向管用于流通部分的流體。

應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，噴嘴包括噴嘴本體和浮子，噴嘴本體內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體，浮子包括浮子本體，浮子本體的外周面與腔體內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙，其中，腔體呈錐形，浮子相對(duì)于噴嘴本體沿腔體的進(jìn)口端和腔體的出口端的連線的方向可移動(dòng)地設(shè)置并具有朝向所述腔體的進(jìn)口端移動(dòng)的趨勢(shì)，浮子沿進(jìn)口端至出口端的方向移動(dòng)的過(guò)程中流通間隙逐漸增大。應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，當(dāng)由腔體的進(jìn)口端進(jìn)入的流體的流量較大時(shí)，浮子在流體的沖擊力的作用下沿進(jìn)口端至出口端的方向移動(dòng)，流通間隙逐漸增大，有效地減小了流速，當(dāng)流體的流量較小時(shí)流通間隙也較小，有利于保證經(jīng)流通間隙流出的流體的流速，實(shí)現(xiàn)了噴嘴根據(jù)流體的流量大小自行調(diào)節(jié)流速的功能。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了本實(shí)用新型實(shí)施例的噴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1、噴嘴本體；11、腔體；2、浮子；21、浮子本體；22、錐形導(dǎo)流部；3、導(dǎo)向件；4、限位件。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。

如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的噴嘴包括噴嘴本體1和浮子2，噴嘴本體1內(nèi)設(shè)置有供流體流通的腔體11。浮子2包括浮子本體21，浮子本體21的外周面與腔體11的內(nèi)周面形成供流體流出的流通間隙。其中，腔體11呈錐形，浮子2相對(duì)于噴嘴本體1沿腔體11的進(jìn)口端和腔體11的出口端的連線的方向可移動(dòng)地設(shè)置并具有朝向腔體11的進(jìn)口端移動(dòng)的趨勢(shì)，浮子2沿進(jìn)口端至出口端的方向移動(dòng)的過(guò)程中流通間隙逐漸增大。在腔體11中無(wú)流體流通的狀態(tài)下流通間隙最小。

本實(shí)施例中，腔體11為豎直設(shè)置，腔體11的出口端位于腔體11的進(jìn)口端的上方。浮子2在重力的作用下具有向腔體11的進(jìn)口端運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)。在腔體11中無(wú)流體流通的狀態(tài)下，浮子2位于其移動(dòng)路徑的最下方且流通間隙最小。