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[實用新型]磷化銦單晶爐熱偶升降裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201420718402.0 申請日: 2014-11-26
公開(公告)號: CN204237893U 公開(公告)日: 2015-04-01
發(fā)明(設計)人: 梁仁和;孫聶楓;孫同年;周世增;王陽;李曉嵐 申請(專利權)人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
主分類號: C30B29/40 分類號: C30B29/40;C30B15/20;C30B15/14
代理公司: 石家莊國為知識產(chǎn)權事務所 13120 代理人: 米文智
地址: 050051 *** 國省代碼: 河北;13
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摘要:
搜索關鍵詞: 磷化 銦單晶爐熱偶 升降 裝置
【權利要求書】:

1.一種磷化銦單晶爐熱偶升降裝置,其特征在于:所述升降裝置包括固定臺(1)、位置指針(2)、標尺(3)、熱偶管(4)、密封組件(5)、絲杠(6)、升降架(7)、傳動組件(8)、動力源(9)和熱偶絲(11),所述固定臺(1)為中空部件,固定在單晶爐頂蓋(10)上,絲杠(6)位于固定臺(1)內(nèi),絲杠(6)的一端與單晶爐頂蓋(10)軸連接,所述傳動組件(8)固定在所述絲杠(6)上,所述動力源(9)位于固定臺(1)的外側,動力源(9)的動力輸出端與傳動組件(8)相嚙合,所述升降架(7)通過絲母與絲杠(6)配合,熱偶管(4)的一端與升降架(7)固定連接,熱偶管(4)的另一端延伸至單晶爐內(nèi),熱偶管(4)與所述單晶爐頂蓋(10)的交匯處設有密封組件(5),所述位置指針(2)固定在所述升降架(7)上,所述標尺(3)固定在所述固定臺(1)上,所述標尺(3)與所述位置指針(2)相對設置,所述熱偶絲(11)位于所述熱偶管(4)內(nèi)并延伸至單晶爐內(nèi)。

2.根據(jù)權利要求1所述的磷化銦單晶爐熱偶升降裝置,其特征在于:所述動力源(9)為調(diào)節(jié)手柄或電動機。

3.根據(jù)權利要求1所述的磷化銦單晶爐熱偶升降裝置,其特征在于:所述固定臺(1)固定于單晶爐頂蓋(10)上方,呈90°垂直,固定臺上配有限位裝置,且一側為開放式設計,設有觀察口。

4.根據(jù)權利要求1-3中任意一項所述的磷化銦單晶爐熱偶升降裝置,其特征在于所述固定臺(1)、位置指針(2)、標尺(3)和升降架(7)均為不銹鋼材質,所述熱偶管(4)為剛玉材料制成。

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