[實用新型]徑向支撐體聲波硅微陀螺儀

有效

• 申請號: 201420716782.4
• 申請日: 2014-11-26
• 公開（公告）號: CN204241001U
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 司紅康
• 申請（專利權）人: 司紅康
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.?一種徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，其特征在于：包括圓盤形諧振子，側向支撐臂，具有位移放大機構的電容檢測電極，檢測電極固定凸臺，圓弧形驅動電極和基板；采用圓盤狀諧振子的兩個面內四波幅波節頻率匹配模態作為驅動模態和檢測模態，驅動模態和檢測模態具有相同的振型，且其徑向振動正交，即驅動模態的波幅為檢測模態的波節，驅動模態的波節為檢測模態的波幅；側向支撐臂共有四個，四個側向支撐臂位于驅動模態徑向振動的波節處，形狀為長方體，側向支撐臂一端同圓盤狀諧振子在半徑方向固定連接，另一端同具有位移放大機構的電容檢測電極固定；具有位移放大機構的電容檢測電極由左右對稱的兩個三角形位移放大機構和兩個電容極板組成，三角形位移放大機構為無下底邊的等腰梯形結構，等腰梯形的兩腰為彈性梁，上底邊為剛性梁，等腰梯形兩腰之間的夾角為鈍角；三角形位移放大機構的上底邊剛性梁和電容極板之間固定連接，電容極板平行于三角形位移放大機構的上底邊剛性梁，兩個三角形位移放大機構的兩腰彈性梁通過兩個剛性固定梁連接；具有位移放大機構的電容檢測電極一端同側向支撐臂固定連接，另一端和檢測電極固定凸臺固定連接，電容極板和檢測電極固定凸臺之間形成平行的電容間隙作為檢測電容；具有位移放大機構的電容檢測電極共有四個，電容極板和檢測電極固定凸臺之間的間隙為1-10μm，具有位移放大機構的電容檢測電極通過重離子摻雜的工藝提高其電導率。

2.?基于權利要求1所述的一種徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，其特征在于：所述圓盤形諧振子上開有關于圓心對稱均勻分布的貫穿孔，可以通過改變孔的大小調節諧振子的剛度，圓盤形諧振子通過重離子摻雜的工藝提高其電導率。

3.?基于權利要求1所述的一種徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，其特征在于：所述圓弧形驅動電極和圓盤狀諧振子同心，圓弧形驅動電極位于圓盤形諧振子驅動模態的波幅處，共有四個，圓弧形驅動電極和圓盤狀諧振子之間的間隙為1-10μm，間隙的深寬比小于20:1，圓弧形驅動電極通過重離子摻雜的工藝提高其電導率。

4.?基于權利要求1所述的一種徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，其特征在于：所述檢測電極固定凸臺的外徑和圓盤狀諧振子同心，檢測電極固定凸臺位于圓盤形諧振子檢測模態的波幅對應的半徑延長線上，共有四個，檢測電極固定凸臺的外徑和圓弧形驅動電極外徑大小相同。

5.?基于權利要求1所述的一種徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，其特征在于：所述基板為圓盤形，基板和圓盤形諧振子同心，半徑和檢測電極固定凸臺以及圓弧形驅動電極的外徑相同，檢測電極固定凸臺和圓弧形驅動電極固定在基板上。

6.?基于權利要求1所述的一種徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，其特征在于：所述圓盤形諧振子，側向支撐臂，具有位移放大機構的電容檢測電極，檢測電極固定凸臺，圓弧形驅動電極和基板全部通過在（111）晶向的硅片上通過微機械電子加工工藝制作而成。