[實(shí)用新型]低真空低溫射頻感性耦合等離子體反應(yīng)器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420714252.6
• 申請日: 2014-11-25
• 公開（公告）號: CN204275958U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高松華;高立華;陳禮煒
• 申請（專利權(quán)）人: 三明學(xué)院
• 主分類號: B01J19/08
• 分類號: B01J19/08
• 代理公司: 福州元創(chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學(xué)俊

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種低真空低溫射頻感性耦合等離子體反應(yīng)器。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的等離子體反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價格高昂，而且操作麻煩，導(dǎo)致企業(yè)、學(xué)校等單位經(jīng)費(fèi)緊張，更要對操作人員進(jìn)行培訓(xùn)，費(fèi)時耗力。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題做出改進(jìn)，即本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種低真空低溫射頻感性耦合等離子體反應(yīng)器，用材簡單，價格低廉，非常實(shí)用。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的一種技術(shù)方案是：一種低真空低溫射頻感性耦合等離子體反應(yīng)器，包括兩端用橡膠塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上端連接有進(jìn)氣總管，所述進(jìn)氣總管分別連接有通入氬氣的第一支管和通入反應(yīng)氣體的第二支管，所述第一支管和第二支管沿其進(jìn)氣方向上均依次設(shè)置有流量計和針閥，所述石英玻璃管的底部設(shè)置有與機(jī)械泵相連接的抽氣管，所述石英玻璃管的底部還設(shè)置有可在石英玻璃管內(nèi)上下移動的升降臺，所述石英玻璃管的上部側(cè)壁上纏繞有線圈，所述線圈與一射頻電源相連接，所述射頻電源與線圈之間還連接有用于調(diào)節(jié)阻抗的匹配器。

進(jìn)一步的，所述石英玻璃管側(cè)壁上設(shè)置有固定鐵夾，該固定鐵夾的一端固定在一鐵架臺上。????進(jìn)一步的，所述石英玻璃管內(nèi)頂部還設(shè)置有氣體導(dǎo)流柵。

進(jìn)一步的，所述匹配器上還有顯示電容值的顯示屏。

進(jìn)一步的，所述線圈上設(shè)置有對線圈進(jìn)行降溫的水冷系統(tǒng)，所述水冷系統(tǒng)包括套在線圈上的水管，所述線圈上設(shè)置有絕緣層，所述水管內(nèi)流通有不斷循環(huán)的冷卻水。

進(jìn)一步的，所述抽氣管上設(shè)置有真空計。

進(jìn)一步的，所述升降臺包括一套設(shè)在石英玻璃管底部橡膠塞內(nèi)的螺帽，所述螺帽內(nèi)設(shè)置有相匹配的螺紋桿，所述螺紋桿在石英玻璃管內(nèi)的端部設(shè)置有樣品臺，所述螺紋桿在石英玻璃管外的下部連接有無螺紋的豎桿，所述豎桿通過一旋緊螺帽固定連接在一套筒上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：本裝置結(jié)構(gòu)簡單，制作價格低廉，操作極其方便。

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的構(gòu)造示意圖。

圖中：1-石英玻璃管，11-橡膠塞，12-氣體導(dǎo)流柵，2-進(jìn)氣總管，21-第一支管，22-第二支管，23-針閥，24-流量計，3-線圈，31-射頻電源，32-匹配器，4-水冷系統(tǒng)，41-水管，5-螺紋桿，51-樣品臺，52-待改性樣品，53-螺帽，54-豎桿，55-旋緊螺帽，56-套筒，6-鐵架臺，61-固定鐵夾，7-抽氣管，71-機(jī)械泵，72-真空計。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例一：如圖1所示，一種低真空低溫射頻感性耦合等離子體反應(yīng)器，包括兩端用橡膠塞11封住的石英玻璃管1，所述石英玻璃管1的上端連接有進(jìn)氣總管2，所述進(jìn)氣總管2分別連接有通入氬氣的第一支管21和通入反應(yīng)氣體的第二支管22，所述第一支管21和第二支管22沿其進(jìn)氣方向上均依次設(shè)置有流量計24和針閥23，所述石英玻璃管1的底部設(shè)置有與機(jī)械泵71相連接的抽氣管7，所述石英玻璃管1的底部還設(shè)置有可在石英玻璃管內(nèi)上下移動的升降臺，所述石英玻璃管1的上部側(cè)壁上纏繞有線圈3，所述線圈3與一射頻電源31相連接，所述射頻電源31與線圈3之間還連接有用于調(diào)節(jié)阻抗的匹配器32。

本實(shí)施例中，所述石英玻璃管1側(cè)壁上設(shè)置有固定鐵夾61，該固定鐵夾61的一端固定在一鐵架臺6上。

本實(shí)施例中，所述石英玻璃管1內(nèi)頂部還設(shè)置有氣體導(dǎo)流柵12。

本實(shí)施例中，所述匹配器32上還有顯示電容值的顯示屏。

本實(shí)施例中，所述線圈3上設(shè)置有對線圈進(jìn)行降溫的水冷系統(tǒng)5，所述水冷系統(tǒng)5包括套在線圈上的水管51，所述線圈2上設(shè)置有絕緣層，所述水管51內(nèi)流通有不斷循環(huán)的冷卻水。

本實(shí)施例中，所述抽氣管7上設(shè)置有真空計72。

本實(shí)施例中，所述升降臺包括一套設(shè)在石英玻璃管底部橡膠塞內(nèi)的螺帽53，所述螺帽53內(nèi)設(shè)置有相匹配的螺紋桿5，所述螺紋桿5在石英玻璃管內(nèi)的端部設(shè)置有樣品臺51，該樣品臺51用于放置待改性樣品52，所述螺紋,5在石英玻璃管外的下部連接有無螺紋的豎桿54，所述豎桿54通過一旋緊螺帽55固定連接在一套筒56上。