[實用新型]多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置

有效

• 申請號: 201420709199.0
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN204281896U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 倪屹;司繼良;張杰;鞏瀟;劉銀法;劉棋奇
• 申請（專利權）人: 江南大學
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅;張濤

1.一種多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，包括爐體（8）以及位于所述爐體（8）外的真空裝置（10）；其特征是：所述爐體（8）內設有保溫屏（3），所述保溫屏（3）內設有單晶生長坩堝機構，所述單晶生長坩堝機構包括至少兩個坩堝體（1），所述單晶生長坩堝機構內的坩堝體（1）相互獨立。

2.根據權利要求1所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述坩堝體（1）包括位于上部且豎直分布的長方管型以及位于下部的楔面體，坩堝體（1）的楔面體內設置有籽晶槽，所述楔面部的錐度為80°~110°。

3.根據權利要求1所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述保溫屏（3）內還設有位于單晶生長坩堝機構外圈的加熱裝置，所述加熱裝置包括均勻分布在坩堝體（1）外圈的加熱器，所述加熱器在保溫屏（3）內提供位單晶生長的a向、b向以及c向的三維溫度梯度。

4.根據權利要求3所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述加熱器包括右加熱器（9）、左加熱器（12）、后加熱器（14）以及前加熱器（16）；所述右加熱器（9）位于保溫屏（3）內的右側，左加熱器（12）位于保溫屏（3）內的左側，后加熱器（14）位于保溫屏（3）內的后側，前加熱器（16）位于保溫屏（3）內的前側；右加熱器（9）上設置用于檢測溫度的右上熱電偶（7），左加熱器（12）上設置用于檢測溫度的左下熱電偶（11），后加熱器（14）上設置用于檢測溫度的后方熱電偶（13），前加熱器（16）上設置用于檢測溫度的前方熱電偶（15）。

5.根據權利要求1所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述坩堝體（1）采用鉬或鎢鉬合金焊接制成。

6.根據權利要求3所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述加熱器包括加熱板（17），所述加熱板（17）上設置若干均勻分布的上隔槽（18）以及下隔槽（19），所述上隔槽（18）與下隔槽（19）在加熱板（17）上呈平行分布，且上隔槽（18）與下隔槽（19）在加熱板（17）的長度方向上交替分布。

7.根據權利要求6所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述加熱板（17）在背離坩堝體（1）側面的水平方向與豎直方向均具有錐度。

8.根據權利要求7所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：在水平方向上，以加熱板（17）的軸線為基準，中心區域與端部間的錐度為1°~3°；垂直方向上，加熱板（17）的底部與上部間的錐度為以1°~3°。

9.根據權利要求6所述的多坩堝三維藍寶石單晶生長裝置，其特征是：所述加熱板（17）采用石墨板。