[實用新型]狹縫閥門輔助拆卸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420707065.5
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN204248344U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設計）人: 朱維情;謝駒龍
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: B23P19/00
• 分類號: B23P19/00
• 代理公司: 上海波拓知識產(chǎn)權代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

技術領域

本實用新型涉及狹縫閥門技術領域，特別涉及一種狹縫閥門輔助拆卸裝置。

背景技術

在半導體、平板顯示器、光伏/太陽能板以及其它基板處理系統(tǒng)中，通常將真空腔室(例如傳送腔室和處理腔室)排置為群集式組合，用以傳送和處理基板。圖1是基板處理系統(tǒng)的群集式真空腔室的局部結構示意圖。如圖1所示，其僅繪示了群集式真空腔室的一個傳送腔室203和一個處理腔室204連接處的局部結構示意圖。為了確保基板處理系統(tǒng)的真空狀態(tài)，在傳送腔室203和處理腔室204之間設置有狹縫閥門(slit?valve)202。狹縫閥門202包括閥門主體202a和閥門連接部202b。閥門主體202a通過多個螺栓205固定連接在閥門連接部202b的下方，而閥門連接部202b則固定連接在傳送腔室203和處理腔室204之間。在處理腔室204工作過程中，狹縫閥門202位于傳送腔室203和處理腔室204之間，作為隔絕處理腔室204和傳送腔室203的門閥，與傳送腔室203和處理腔室204緊密密合，保證處理腔室204的真空環(huán)境。然而，狹縫閥門202在使用過程中會出現(xiàn)一些需要拆卸檢修的問題，例如當狹縫閥門202內部的氣閥導管(圖未示)發(fā)生內漏，或玻璃基板破片碎屑掉落在狹縫閥門202內部時，則需要通過狹縫閥門拆卸吊具拆卸狹縫閥門202以進行修理作業(yè)。

圖2是現(xiàn)有狹縫閥門拆卸吊具拆卸狹縫閥門的結構示意圖。如圖2所示，狹縫閥門拆卸吊具200包括控制器210和吊架220，吊架220包括承載橫梁222、第一吊臂224、第二吊臂226和吊裝螺栓228。控制器210連接于承載橫梁222，第一吊臂224和第二吊臂226順著吊裝方向A平行設置并連接于承載橫梁222的兩端，吊裝螺栓228設置于第一吊臂224和第二吊臂226遠離承載橫梁222的一端。需要拆卸狹縫閥門202進行檢修時，先將狹縫閥門拆卸吊具200設置在閥門連接部202b上方，并將第一吊臂224和第二吊臂226通過吊裝螺栓228分別固定連接在狹縫閥門202的閥門主體202a的兩端，此時由于狹縫閥門拆卸吊具200的吊載作用，即可拆卸掉閥門連接部202b與閥門主體202a之間的螺栓205。之后，控制器210控制吊架沿吊裝方向A向下移動，從而實現(xiàn)閥門主體202a和閥門連接部202b的分離，然后人工搬運至空地進行檢修。

但是，由于狹縫閥門拆卸吊具200只單純的通過吊裝螺栓228固定連接狹縫閥門202的閥門主體202a，而普通的狹縫閥門202的閥門主體202a均具有一定重量(例如為200㎏)，所以很容易造成狹縫閥門202的閥門主體202a由于自身重量而從第一吊臂224與第二吊臂226之間脫落下來，不僅容易使真空腔室外部的管路或者設備被砸壞而造成損失，而且對拆卸操作的工作人員來說也存在較大的安全隱患。此外，基板處理系統(tǒng)的真空腔室由于采用群集式組合排置，各真空腔室之間的間隔空間較小，拆卸下狹縫閥門202的閥門主體202a之后還需要進行搬運，空間受到一定限制，不僅導致檢修不便，檢修效率低下，而且同樣容易損壞真空腔室外部的管路或者設備，具有安全隱患。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供了一種狹縫閥門輔助拆卸裝置，能夠優(yōu)化檢修流程，提高檢修效率，避免損壞管路設備，減少安全隱患。

本實用新型解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現(xiàn)的。

一種狹縫閥門輔助拆卸裝置，適于輔助拆卸狹縫閥門，狹縫閥門包括閥門主體以及閥門連接部，閥門主體連接于閥門連接部的下方。狹縫閥門輔助拆卸裝置包括控制器和吊架，控制器連接于吊架，控制吊架沿吊裝方向上下移動。吊架具有第一吊裝端和第二吊裝端，第一吊裝端和第二吊裝端可拆卸的固定連接于狹縫閥門的閥門主體。狹縫閥門輔助拆卸裝置還包括多個承載螺栓，多個承載螺栓的長度延伸方向平行于吊架的吊裝方向。多個承載螺栓可拆卸的穿設閥門主體并連接于吊架沿吊裝方向向下移動后具有預定間隔距離的閥門連接部和閥門主體之間。

在本實用新型的較佳實施例中，上述吊架包括承載橫梁、第一吊臂和第二吊臂。承載橫梁垂直于吊裝方向并與控制器連接，承載橫梁的兩端分別連接第一吊臂和第二吊臂。第一吊裝端設于第一吊臂遠離承載橫梁的一端，第二吊裝端設于第二吊臂遠離承載橫梁的一端。

在本實用新型的較佳實施例中，上述第一吊臂和第二吊臂相互平行且垂直地連接于承載橫梁。

在本實用新型的較佳實施例中，上述第一吊裝端和第二吊裝端分別設有吊裝固定元件。第一吊裝端的吊裝固定元件連接于第一吊臂與閥門主體之間，第二吊裝端的吊裝固定元件連接于第二吊臂與閥門主體之間。