[實用新型]一種分子束外延的材料生長原位監測裝置

有效

• 申請號: 201420697736.4
• 申請日: 2014-11-19
• 公開（公告）號: CN204417643U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 李寶吉;趙勇明;季蓮;陸書龍
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: C30B25/16
• 分類號: C30B25/16
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;楊林

1.一種分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，包括激光光源模塊(10)、接收模塊(20)、數據處理模塊(30)和分子束外延腔體(6)，所述分子束外延腔體(6)內設置有用于監測的樣品(5)，所述激光光源模塊(10)用于發射光束照射所述樣品(5)，經樣品(5)反射后形成反射光束，被所述接收模塊(20)接收，所述數據處理模塊(30)與接收模塊(20)連接，用于處理反射光束攜帶的信息。

2.根據權利要求1所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，所述激光光源模塊(10)包括激光器(11)、激光分束透鏡(12)、準直透鏡(13)，所述激光器(11)用于產生激光光束，激光光束經過所述激光分束透鏡(12)后形成陣列光束，陣列光束再經過所述準直透鏡(13)形成平行光束。

3.根據權利要求1所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，所述分子束外延腔體(6)設有入光口(3)和出光口(4)，所述入光口(3)與所述激光光源模塊(10)發射光束的位置對應，所述出光口(4)與接收模塊(20)接收光束的位置對應。

4.根據權利要求1所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，所述接收模塊(20)包括圖像傳感器(21)和光電開關(22)，所述光電開關(22)用于控制所述圖像傳感器(21)對所述樣品(5)進行數據采集。

5.根據權利要求1所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，數據處理模塊(30)內部設置有信號處理模塊，所述信號處理模塊用于分析反射光束的強度和光束位置變化以及原位應力測量。

6.根據權利要求2所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，激光器(11)為紅光激光器，功率穩定性小于5％。

7.根據權利要求2所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，激光分束透鏡(12)采用達曼光柵作為光束分束器件。

8.根據權利要求2所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，準直透鏡(13)內部設有焦距調節模塊，用于調節準直光束點陣。

9.根據權利要求4所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，所述圖像傳感器(21)為高分辨率面陣的二維CCD，用于采集反射光束強度和光束位置。

10.根據權利要求4所述的分子束外延的材料生長原位監測裝置，其特征在于，所述光電開關(22)為反射式光電開關，樣品(5)上設置有用于控制樣品(5)轉動的馬達，所述反射式光電開關用于隨所述馬達轉動保持同步采集。