[實用新型]一種用于真空鍍膜機的新型轉(zhuǎn)架裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420695098.2
• 申請日: 2014-11-19
• 公開（公告）號: CN204138750U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭濤;蔡云鋒;龍騰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市萊恩頓納米技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 深圳眾鼎專利商標代理事務所(普通合伙) 44325
• 代理人: 朱業(yè)剛;譚果林

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于真空鍍膜機的新型轉(zhuǎn)架裝置。

背景技術(shù)

真空鍍膜機用于在真空中對工件鍍膜，真空鍍膜機包含構(gòu)成于工件的加工腔體的真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)架裝置，該轉(zhuǎn)架裝置可以通過驅(qū)動裝置驅(qū)動轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)工件的轉(zhuǎn)動。

現(xiàn)有一般的PVD真空鍍膜真空室的轉(zhuǎn)架直接安裝在真空室內(nèi)。轉(zhuǎn)架需要一個復雜的傳動結(jié)構(gòu)以保證安置在其上的工件進行穩(wěn)定的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。此傳動結(jié)構(gòu)含有眾多的齒輪和軸承。由于PVD真空室內(nèi)在使用過程中需要電熱絲加熱，一般需要加熱至400-550℃，在此高溫下一般鐵基齒輪和軸承無法正常工作，現(xiàn)有的設(shè)備大多采用陶瓷齒輪和軸承，然而陶瓷本身易脆、受力低且造價昂貴、制造周期長。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于真空鍍膜機的新型轉(zhuǎn)架裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是：一種用于真空鍍膜機的新型轉(zhuǎn)架裝置，包括轉(zhuǎn)架、鐵基齒輪、傳動軸、軸承、雙層隔熱板、水冷槽；所述轉(zhuǎn)架底部設(shè)有鐵基齒輪，該鐵基齒輪兩側(cè)設(shè)有軸承；該軸承上端設(shè)有傳動齒輪，該傳動齒輪與傳動軸下方固定的定齒輪嚙合；所述轉(zhuǎn)架周邊設(shè)有雙層隔熱板，該雙層隔熱板之間設(shè)有水冷槽，其中水冷槽的空隙內(nèi)注有冷卻液。

作為優(yōu)選，所述隔熱板為不銹鋼板，且隔熱板厚度為2～5mm。

作為優(yōu)選，所述傳動軸上設(shè)有水冷水套。

本實用新型通過對轉(zhuǎn)架與真空室進行隔離，在真空室與轉(zhuǎn)架之間采用雙層3mm厚的不銹鋼板進行隔離，同時在轉(zhuǎn)架周圍加裝水冷水套，使用冷水機冷水對水套降溫。使得轉(zhuǎn)架輻射出來的熱量被迅速帶走，這樣轉(zhuǎn)架在設(shè)備正常工作時的溫度能達到鐵基齒輪和軸承的使用范圍。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面通過實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步具體說明。

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。由圖1可知，一種用于真空鍍膜機的新型轉(zhuǎn)架裝置，包括主要由轉(zhuǎn)架5、鐵基齒輪4、傳動軸6、軸承2、雙層隔熱板1、10、水冷槽3、水冷水套31等組成。轉(zhuǎn)架5底部設(shè)有鐵基齒輪4，該鐵基齒輪4兩側(cè)設(shè)有軸承2；該軸承2上端設(shè)有傳動齒輪8，該傳動齒輪8與傳動軸6下方固定的定齒輪7嚙合，其中傳動軸6上設(shè)有水冷水套31。轉(zhuǎn)架5周邊設(shè)有雙層隔熱板1、10，隔熱板1、10為不銹鋼板，且厚度為2～5mm。雙層隔熱板1、10之間設(shè)有水冷槽3，其中水冷槽3的空隙內(nèi)注有冷卻液。

本實用新型通過對轉(zhuǎn)架與真空室進行隔離，在真空室與轉(zhuǎn)架之間采用雙層3mm厚的不銹鋼板進行隔離，大部分熱輻射被反射入真空室內(nèi)，只有少部分被轉(zhuǎn)架吸收使得轉(zhuǎn)架溫度升高。加裝間接水冷，在轉(zhuǎn)架周圍加裝水冷水套，使用冷水機冷水對水套降溫。由于轉(zhuǎn)架部分與真空室處于基本隔離狀態(tài)，轉(zhuǎn)架部分的熱量也將以輻射方式向外發(fā)散，因轉(zhuǎn)架周圍的水套溫度很低，使得轉(zhuǎn)架輻射出來的熱量被迅速帶走，這樣轉(zhuǎn)架在設(shè)備正常工作時的溫度能達到鐵基齒輪和軸承的使用范圍，實現(xiàn)使用鐵基齒輪和軸承進行傳動的目的。

本實用新型通過上述實施例來說明本實用新型的實施方案及結(jié)構(gòu)，但本專利并不局限于上述實施方式，凡采用和本實用新型相似結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)本實用新型目的的所有方式，均在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。