[實用新型]泡生法藍寶石自動長晶設備的電子提拉裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420694995.1
• 申請日: 2014-11-19
• 公開（公告）號: CN204251755U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設計）人: 劉瑜;杜慧江;邢明
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州晶一智能科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及泡生法藍寶石晶體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種泡生法藍寶石自動長晶設備的電子提拉裝置，同時可適用于其他相似領(lǐng)域。

背景技術(shù)

由于藍寶石晶體的光學穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度激光鏡片材料及掩模材料上。目前超高亮度白/藍光LED的品質(zhì)取決于氮化鎵外延（GaN）的材料品質(zhì)，而氮化鎵外延品質(zhì)則與所使用的藍寶石基板表面加工品質(zhì)息息相關(guān)，藍寶石（單晶Al₂O₃）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小，同時符合GaN?外延工藝中耐高溫的要求，使得藍寶石晶片成為制作白/藍/綠光LED的關(guān)鍵材料。

目前最成熟的生長大尺寸低應力無缺陷藍寶石晶體的技術(shù)仍然還是泡生法。但是泡生法生產(chǎn)藍寶石還沒有完全實現(xiàn)自動化，在引晶過程中還需要依靠經(jīng)驗豐富的引晶工程師進行操作。這種工作方式不利于進行大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)。因此我們提出自動化的泡生法藍寶石生產(chǎn)方式，這種理念設計出來的自動長晶設備不需要長晶工程師在長晶過程中操作籽晶桿的旋轉(zhuǎn)和提拉，因此人工式的機械提拉機構(gòu)是多余的，但是考慮的多年積累下的操作習慣，需要留出一個人工操作接口。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的主要目的在于提供一種泡生法藍寶石自動長晶設備的電子提拉裝置，為人工操作自動長晶設備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長晶設備的人工操作方式，而且省略了機械式的提拉結(jié)構(gòu)。

（二）技術(shù)方案

為達到上述目的，本發(fā)明提供一種泡生法藍寶石自動長晶設備的電子提拉裝置，設置提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅(qū)動籽晶桿旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)，可以驅(qū)動所述的籽晶桿快速上下運動的快速提拉系統(tǒng)，可以驅(qū)動所述的籽晶桿慢速上下運動的慢速提拉系統(tǒng)，所述的快速提拉系統(tǒng)和慢速提拉系統(tǒng)通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接，設置可以啟動或者停止所述的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)的晶轉(zhuǎn)按鍵，以及控制快速提拉系統(tǒng)的提拉撥盤，所述的晶轉(zhuǎn)按鍵和提拉撥盤與所述的控制器連接。

所述的晶轉(zhuǎn)按鍵設置自鎖裝置，可以保持斷開和閉合兩種狀態(tài)。

所述的提拉撥盤設置旋轉(zhuǎn)編碼器，可鑒別旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)速度。

（三）有益效果

從上述技術(shù)方案可以看出，本專利具有以下有益效果：

1、為人工操作自動長晶設備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長晶設備的人工操作方式，而且省略了機械式的提拉結(jié)構(gòu)；

2、結(jié)構(gòu)上進行了簡化，節(jié)省制造成本，也提升了系統(tǒng)可靠性。

附圖說明

圖1為自動長晶設備的外形示意圖；

圖2為本專利的外形示意圖；

圖3為本專利的控制結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體的實施實例對本實用新型作進一步展開說明，但需要指出的是，本實用新型所要求保護的結(jié)構(gòu)并不限于實施例及說明書附圖中的具體結(jié)構(gòu)。對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以推知的其他結(jié)構(gòu)形式，亦屬于本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。

請參閱圖1、圖2，一種泡生法藍寶石自動長晶設備的電子提拉裝置，設置提供動力的電源系統(tǒng)5，進行集中控制的控制器4，所述的控制器4可設置為可編程控制器，也可以設置為工業(yè)控制計算機。

還設置可以驅(qū)動籽晶桿旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)8，以保證晶體生長的均勻性，還包括驅(qū)動所述的籽晶桿快速上下運動的快速提拉系統(tǒng)6，可以驅(qū)動所述的籽晶桿慢速上下運動的慢速提拉系統(tǒng)7，所述的快速提拉系統(tǒng)6和慢速提拉系統(tǒng)7通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接。所述的快速提拉系統(tǒng)6，慢速提拉系統(tǒng)7和晶轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)8分別由電機及電機驅(qū)動器、減速機構(gòu)組成。

還設置可以啟動或者停止所述的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)8的晶轉(zhuǎn)按鍵2，所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2設置自鎖裝置，可以保持斷開和閉合兩種狀態(tài)。還設置控制快速提拉系統(tǒng)6的提拉撥盤3。所述的提拉撥盤3設置旋轉(zhuǎn)編碼器，可鑒別旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)速度。所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2和提拉撥盤3與所述的控制器4連接。

還設置起容納和保護作用的殼體1，所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2和提拉撥盤3安裝在所述的殼體1上，以方便工作人員操作。

綜上所述，在實際使用過程中，通過所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2可以啟動或者停止所述的籽晶桿的旋轉(zhuǎn)運動，通過向左或者向右旋轉(zhuǎn)所述的提拉撥盤3，可以控制所述的籽晶桿向上或者向下運動，而旋轉(zhuǎn)的速度則控制運動的快慢。因此，該裝置為人工操作自動長晶設備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長晶設備的人工操作方式，而且省略了機械式的提拉結(jié)構(gòu)。