[實(shí)用新型]一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420694500.5
• 申請(qǐng)日: 2014-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN204324008U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫晨光;張晉會(huì);李諾;劉園;王丹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B65D81/05
• 分類號(hào): B65D81/05;B65D85/86
• 代理公司: 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211
• 代理人: 楊慧玲

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明創(chuàng)造屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒。

背景技術(shù)

硅片表面的顆粒、有機(jī)物、金屬、吸附分子、微粗糙度、自然氧化層等會(huì)嚴(yán)重影響器件性能，其中表面顆粒度會(huì)引起圖形缺陷、外延缺陷、影響布線的完整性，因此在檢驗(yàn)過程中需要減少并控制硅表面顆粒度。目前通常采用對(duì)不同型號(hào)的硅片設(shè)置專用檢驗(yàn)盒來達(dá)到減少硅片顆粒的目的。但是不同型號(hào)硅片設(shè)置不同規(guī)格檢驗(yàn)盒，提高了生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)成本，且降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明創(chuàng)造要解決以上技術(shù)問題，提供一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒，可以適用于4寸、5寸硅片，可有效減少硅片顆粒度。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是：一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒，包括盒體、盒蓋、卡托和隔板，所述盒蓋和盒體通過合頁連接，所述盒蓋上設(shè)有卡扣，所述盒體底板上設(shè)有所述隔板，所述卡托可活動(dòng)地設(shè)于所述盒體內(nèi)，所述卡托包括托板、支撐板和凹槽，所述支撐板與所述托板底面相連，用于支撐所述托板，所述托板與所述盒體底板形狀一致，所述托板上設(shè)有所述凹槽，所述凹槽將所述托板分為左托板和右托板，所述左托板設(shè)有多個(gè)第一卡槽和第一通孔，所述右托板上設(shè)有多個(gè)第二卡槽和第二通孔。

進(jìn)一步，所述左托板上設(shè)有四個(gè)第一卡槽和兩個(gè)第一通孔，所述第一卡槽呈矩形分布，所述第一通孔位于所述左托板中部。

進(jìn)一步，所述右托板上設(shè)有四個(gè)第二卡槽和兩個(gè)第二通孔，所述第二卡槽呈矩形分布，所述第二通孔位于所述右托板中部。

進(jìn)一步，所述隔板與所述盒體側(cè)板平行，所述隔板將所述盒體底板分為左、右兩個(gè)對(duì)稱單元。

進(jìn)一步，所述盒體外側(cè)設(shè)有凸臺(tái)，所述卡扣的一端與所述盒蓋鉸接，所述卡扣的另一端與所述凸臺(tái)卡接。

本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒，可適用于4寸、5寸硅片，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)盒體用于不同規(guī)格硅片的通用性功能。需要盛放5寸硅片時(shí)，將卡托取出，通過隔板將盒體內(nèi)部分為左右兩個(gè)對(duì)稱單元，每個(gè)存儲(chǔ)單元可固定存放一個(gè)硅片籃；需要盛放4寸硅片時(shí)，將卡托置于盒體內(nèi)部，通過一組卡槽對(duì)一個(gè)硅片籃進(jìn)行固定。本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，對(duì)于減少硅片顆粒度起到了很好地作用。

附圖說明

圖1是本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是卡托俯視圖；

圖3是卡托主視圖。

圖中：1、盒體；2、盒蓋；3、隔板；4、卡扣；5、托板；

6、支撐板；7、凹槽；8、第一卡槽；9、第一通孔；

10、第二卡槽；11、第二通孔；12、凸臺(tái)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的具體實(shí)施例做詳細(xì)說明。

一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒，包括盒體1、盒蓋2、卡托和隔板3，所述盒蓋2和盒體1通過合頁連接，所述盒蓋2上設(shè)有卡扣4，所述盒體1底板上設(shè)有所述隔板3，所述卡托可活動(dòng)地設(shè)于所述盒體1內(nèi)，所述卡托包括托板5、支撐板6和凹槽7，所述支撐板6與所述托板5底面相連，用于支撐所述托板5，所述托板5與所述盒體1底板形狀一致，所述托板5上設(shè)有所述凹槽7，所述凹槽7將所述托板5分為左托板和右托板，所述左托板設(shè)有多個(gè)第一卡槽8和第一通孔9，所述右托板上設(shè)有多個(gè)第二卡槽10和第二通孔11。所述左托板上設(shè)有四個(gè)第一卡槽8和兩個(gè)第一通孔9，所述第一卡槽8呈矩形分布，所述第一通孔9位于所述左托板中部。所述右托板上設(shè)有四個(gè)第二卡槽10和兩個(gè)第二通孔11，所述第二卡槽10呈矩形分布，所述第二通孔11位于所述右托板中部。所述隔板3與所述盒體1側(cè)板平行，所述隔板3將所述盒體1底板分為左、右兩個(gè)對(duì)稱單元。所述盒體1外側(cè)設(shè)有凸臺(tái)12，所述卡扣4的一端與所述盒蓋2鉸接，所述卡扣4的另一端與所述凸臺(tái)12卡接。

一種多規(guī)格硅片檢驗(yàn)盒，可適用于4寸、5寸硅片，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)盒體用于不同規(guī)格硅片的通用性功能。檢驗(yàn)盒為長方形殼體，材質(zhì)為PP。檢驗(yàn)盒外表面設(shè)有靜電噴涂的黑色無塵漆。具體使用過程為：需要盛放5寸硅片時(shí)，將卡托取出，通過隔板3將盒體1內(nèi)部分為左右兩個(gè)對(duì)稱單元，每個(gè)存儲(chǔ)單元可固定存放一個(gè)硅片籃；需要盛放4寸硅片時(shí)，將卡托置于盒體1內(nèi)部，通過一組卡槽對(duì)一個(gè)硅片籃進(jìn)行固定。每個(gè)檢驗(yàn)盒均能放兩個(gè)硅片籃，每個(gè)硅片籃均是H面朝向檢驗(yàn)盒前方。本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，對(duì)于減少硅片顆粒度起到了很好地作用。

以上對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明創(chuàng)造的專利涵蓋范圍之內(nèi)。