[實(shí)用新型]基板快速均溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420693102.1
• 申請日: 2014-11-18
• 公開（公告）號: CN204285631U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柯安;李詩雯
• 申請（專利權(quán)）人: 奇鼎科技股份有限公司
• 主分類號: F24F1/00
• 分類號: F24F1/00;F24F13/08;F24F13/28
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型是有關(guān)于一種基板快速均溫裝置，尤指一種可使其氣流孔吹出的氣流以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低玻璃基板中心降溫不均所產(chǎn)生的制程誤差，進(jìn)而使本實(shí)用新型達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。

背景技術(shù)

常見使用于顯示器的玻璃基板，其于顯示器制造中某些制程，如曝光、涂布、測長、貼合制程等，會(huì)因玻璃基板本身的溫度不正確或是溫度不均，使得基板產(chǎn)生熱脹冷縮現(xiàn)象而產(chǎn)生尺寸偏差、導(dǎo)致制程良率下降的問題。因此于前述對于溫度變化較敏感的制程，會(huì)特別關(guān)切玻璃基板本身的均溫性以及溫度正確性，常見顯示器制程設(shè)定溫度為23℃；且要求于上述制程中，玻璃本身的溫度誤差需控制在±0.2或±0.1℃以內(nèi)；目前對玻璃均溫習(xí)用的作法為對玻璃本身吹送一經(jīng)過溫控的清凈空氣，此空氣對基板的作用可為降溫或升溫，視玻璃本身送至控制氣流時(shí)的溫度是高于或是低于設(shè)定溫度本身而定，本文中以降溫為例，在實(shí)際應(yīng)用中，對于升溫或是降溫皆有相同的功效。對此，中國臺灣專利第I431229號揭露了一種「清凈室」，請參閱圖1，其包含一空調(diào)機(jī)10、一循環(huán)路11、一高性能過濾器12、至少一給氣室13、至少一噴嘴板14、一清凈室15以及一基板17，該給氣室13連接該高性能過濾器12，且該高性能過濾器12經(jīng)由該循環(huán)路11與該空調(diào)機(jī)10連接，該噴嘴板14設(shè)置于該給氣室13下方，且該噴嘴板14具有多個(gè)噴嘴140，且該清凈室15具有一清凈區(qū)域16。

前述「清凈室」的揭露，基于此一技術(shù)方案雖可使該清凈區(qū)域16內(nèi)的該噴嘴板14輸出清凈空氣，且可以自由地選用從該噴嘴板14的該等噴嘴140吹出溫控過的清凈空氣與能調(diào)整其風(fēng)速以及到達(dá)距離，其中，當(dāng)該基板17運(yùn)送于該清靜區(qū)域16的該等噴嘴140下方時(shí)，其該等噴嘴140為朝下的設(shè)置，故請繼續(xù)參閱圖2與圖3，其中將進(jìn)行該基板17的25℃下降至23℃的降溫制程，其中曲線為該基板17降溫時(shí)的中心周圍溫度，藉由該空調(diào)機(jī)10的馬力輸送清凈空氣至該給氣室13，再經(jīng)由該噴嘴板14向下輸送一垂直氣流18，該垂直氣流18觸碰到該基板17以將該基板17的熱能帶離，但其中由于該垂直氣流18觸碰到該基板17時(shí)，該垂直氣流18與該基板17中心周圍之間將形成一中心渦流19，該基板17中心周圍溫度由第1秒至第39秒的時(shí)間內(nèi)，還是無法完整將該基板17中心周圍溫度降至需求的23℃，由于制程容許降溫時(shí)間通常低于此時(shí)間，此一問題將造成該基板17產(chǎn)生溫度不均而導(dǎo)致后續(xù)制程的誤差，將使產(chǎn)品良率降低。是故，如何針對上述缺失加以改進(jìn)，即為本案申請人所欲解決的技術(shù)困難點(diǎn)所在。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于現(xiàn)有的清凈室，其利用垂直的噴嘴來輸出溫控后的清凈空氣以給予基板作散熱，因垂直氣流容易產(chǎn)生中心渦流，使其基板無法有效均勻散熱，而在基板上產(chǎn)生溫度不均，因此本實(shí)用新型的目的在于發(fā)展一種快速降低玻璃基板中心溫度的均溫裝置。

為達(dá)成以上的目的，本實(shí)用新型提供一種基板快速均溫裝置，其包含：一空調(diào)機(jī)；一給氣室，該給氣室經(jīng)由一循環(huán)管路與該空調(diào)機(jī)相連接，該給氣室設(shè)置于一無塵室的頂棚或其他適當(dāng)位置，該給氣室內(nèi)設(shè)有一容置空間，且該給氣室下方設(shè)有一開口；以及至少一個(gè)氣流板，該氣流板固設(shè)于該給氣室下方的該開口處，該氣流板上設(shè)有多個(gè)氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，該夾角的角度小于90度，且該每一氣流孔兩端分別于該氣流板的上表面與下表面形成一進(jìn)氣口與一出氣口。

其中，該多個(gè)氣流孔為圓柱狀、橢圓柱狀、長條板狀或四邊形長柱狀，且更具有至少一個(gè)濾網(wǎng)，固設(shè)于該給氣室的該容置空間內(nèi)。

藉由本實(shí)用新型采用該氣流板的該多個(gè)氣流孔，且該多個(gè)氣流孔與該氣流板的該夾角角度小于90度，其效益在于：避免由該多個(gè)氣流孔流出的調(diào)溫清凈空氣觸碰到玻璃基板時(shí)產(chǎn)生其空氣渦流，使得清凈空氣能同時(shí)順著一方向流動(dòng)，將不產(chǎn)生空氣渦流，使其迅速將玻璃基板上的熱能帶離，可達(dá)到快速均溫，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。

附圖說明

圖1為習(xí)用的整體圖；

圖2為習(xí)用的風(fēng)向示意圖；

圖3為習(xí)用的基板中心周圍溫度降溫示意圖；

圖4為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的整體圖；

圖5為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的部分立體示意圖；

圖6為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的風(fēng)向示意圖；

圖7為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的玻璃基板中心周圍溫度降溫示意圖；

圖8為本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的部分立體示意圖；

圖9為本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例的部分立體示意圖；

圖10為本實(shí)用新型第四較佳實(shí)施例的部分立體示意圖。