[實用新型]一種電沉積系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420691434.6 | 申請日: | 2014-11-17 |
| 公開(公告)號: | CN204342905U | 公開(公告)日: | 2015-05-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 明平美;張曉東;畢向陽;周維海;陳競濤 | 申請(專利權(quán))人: | 河南理工大學(xué) |
| 主分類號: | C25D17/00 | 分類號: | C25D17/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 454003 河南*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 沉積 系統(tǒng) | ||
1.一種電沉積系統(tǒng),包括電沉積槽、陰極和陽極,其特征在于:所述的電沉積槽還包括陰極屏蔽板和陰極振動機構(gòu);所述的陰極振動機構(gòu)包括水平置于電沉積槽上方的陰極固定桿;所述的陰極固定安裝于陰極固定桿上;所述的陰極屏蔽板平行放置于陰極、陽極之間。
2.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極固定桿能做水平直線往復(fù)振動,振幅為30mm~60mm。
3.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極屏蔽板的材質(zhì)為聚丙烯。
4.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極屏蔽板的截面形狀與陰極相似,其面積為陰極面積的1.5倍,且中心開有形狀與陰極截面形狀相似的孔洞,孔洞面積是陰極面積的三分之二。
5.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極屏蔽板的位置相對于陰極可以調(diào)節(jié)。
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