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[實用新型]一種電沉積系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201420691434.6 申請日: 2014-11-17
公開(公告)號: CN204342905U 公開(公告)日: 2015-05-20
發(fā)明(設(shè)計)人: 明平美;張曉東;畢向陽;周維海;陳競濤 申請(專利權(quán))人: 河南理工大學(xué)
主分類號: C25D17/00 分類號: C25D17/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 454003 河南*** 國省代碼: 河南;41
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 沉積 系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:

1.一種電沉積系統(tǒng),包括電沉積槽、陰極和陽極,其特征在于:所述的電沉積槽還包括陰極屏蔽板和陰極振動機構(gòu);所述的陰極振動機構(gòu)包括水平置于電沉積槽上方的陰極固定桿;所述的陰極固定安裝于陰極固定桿上;所述的陰極屏蔽板平行放置于陰極、陽極之間。

2.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極固定桿能做水平直線往復(fù)振動,振幅為30mm~60mm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極屏蔽板的材質(zhì)為聚丙烯。

4.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極屏蔽板的截面形狀與陰極相似,其面積為陰極面積的1.5倍,且中心開有形狀與陰極截面形狀相似的孔洞,孔洞面積是陰極面積的三分之二。

5.如權(quán)利要求1所述的一種電沉積系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極屏蔽板的位置相對于陰極可以調(diào)節(jié)。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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