[實(shí)用新型]一種HCT晶棒托盤支架有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420690192.9 | 申請(qǐng)日： | 2014-11-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN204322327U | 公開(kāi)（公告）日： | 2015-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳健;王康;馬帥;杜鵑 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B28D7/04 | 分類號(hào)： | B28D7/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211 | 代理人： | 楊慧玲 |
| 地址： | 301510 天津市濱海新區(qū)津漢公*** | 國(guó)省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 hct 托盤 支架 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于：包括底座、橫向保護(hù)座和豎向保護(hù)座，所述底座的截面為直角梯形，在所述底座的上表面設(shè)有所述豎向保護(hù)座，所述橫向保護(hù)座與所述豎向保護(hù)座垂直設(shè)置，且所述橫向保護(hù)座位與所述底座的斜面位于同一側(cè)，所述橫向保護(hù)座和豎向保護(hù)座均為矩形，所述底座、橫向保護(hù)座和豎向保護(hù)座一體成型。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于：所述橫向保護(hù)座的長(zhǎng)度為80mm，寬度為14mm，高度為10mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于：所述豎向保護(hù)座的長(zhǎng)度為80mm，寬度為25mm，高度為31mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于：所述底座截面為直角梯形，其上底為25mm，下底為36mm，高為24mm。
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