[實用新型]一種微束X射線熒光譜儀有效
| 申請號： | 201420684828.9 | 申請日： | 2014-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN204188546U | 公開（公告）日： | 2015-03-04 |
| 發明（設計）人： | 王君玲;段澤明;程琳 | 申請（專利權）人： | 北京師范大學;北京市輻射中心 |
| 主分類號： | G01N23/223 | 分類號： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100875*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 射線 熒光 | ||
1.一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，包括：X射線管(1)，毛細管X光匯聚透鏡(2)，樣品臺(4)，位移傳感器(5)，數模轉換卡(6)，計算機(7)；
所述X射線管(1)位于所述樣品臺(4)的上方，X射線透過所述毛細管X光匯聚透鏡(2)照射到樣品臺(4)上的樣品(3)上，所述樣品(3)與所述毛細管X光匯聚透鏡(2)之間的距離等于毛細管X光匯聚透鏡(2)的后焦距；
所述位移傳感器(5)位于所述樣品(3)的斜上方，其探測點與被測試點為同一點；所述位移傳感器(5)與所述計算機(6)電連接，用于探測所述樣品(3)與所述位移傳感器(5)之間的垂直距離H，并將距離H的信號通過數模轉換卡(6)變成數字信號傳遞給計算機(7)；
所述計算機(7)通過控制所述樣品臺(4)與毛細管X光匯聚透鏡(2)之間的距離，保持樣品(3)的被測試點處于毛細管X光透鏡的后焦距的位置。
2.如權利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述計算機(7)將信號傳遞給步進電機控制器(8)，隨后步進電機控制器(8)將信號傳遞給步進電機驅動器(9)，再由步進電機驅動器(9)驅動由4個步進電機驅動樣品臺(4)向XYZθ四個方向運動。
3.如權利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述位移傳感器(5)與水平面成45°夾角。
4.如權利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述位移傳感器(5)采用高精度分辨率小于5微米的激光位移傳感器。
5.如權利要求1所述的一種微束X射線熒光譜儀，其特征在于，所述X射線管(1)采用Oxford?50微米，50瓦微焦斑X射線管。
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