[實(shí)用新型]一種光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420681477.6
• 申請(qǐng)日: 2014-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204287728U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉海林;霍艷麗;賈志輝;梁海龍;胡傳奇;黃小婷;唐婕;陳曙光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，包括：

本體，其下方固定連接蓋體；所述本體的上表面設(shè)有多個(gè)凸起，多個(gè)凸起的上表面位于同一平面；所述本體的下表面設(shè)有吸附槽，所述吸附槽上設(shè)有穿透本體的吸附孔，與吸附槽相連通；

其特征在于，還包括：

第一筋板，設(shè)置在本體的下表面，所述第一筋板上設(shè)有至少一個(gè)第一凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過(guò)程中陶瓷吸盤(pán)產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于，還包括：

第二筋板，設(shè)置在本體的下表面，與所述第一筋板相互交錯(cuò)設(shè)置，所述第二筋板上設(shè)有至少一個(gè)第二凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過(guò)程中陶瓷吸盤(pán)產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于：

兩條以上的第一筋板相互平行設(shè)置，兩條以上的第二筋板相互平行設(shè)置，且所述第一筋板垂直于所述第二筋板設(shè)置；

每?jī)蓷l第二筋板之間的所述第一筋板上均設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽在沿著第二筋板長(zhǎng)度的方向相貫通；

每?jī)蓷l第一筋板之間的所述第二筋板上設(shè)有一第二凹槽，所述第二凹槽在沿著第二筋板長(zhǎng)度的方向相貫通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于:

兩條以上的第一筋板上的第一凹槽相互連通，相互連通的第一凹槽的軸線平行于所述第二筋板；

兩條以上的第二筋板上的第二凹槽相互連通，相互連通的第二凹槽的軸線平行于所述第一筋板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于:所述第一凹槽和/或第二凹槽的橫截面為半弧形、矩形、梯形、V字形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于，所述本體上設(shè)有至少一個(gè)連接孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于，所述連接孔?為3個(gè)，均勻貫通設(shè)置在所述本體及蓋體上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于，所述本體與蓋體通過(guò)固化劑粘接連接或所述本體與蓋體通過(guò)燒結(jié)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于，所述吸附槽為三個(gè)，每個(gè)吸附槽的一端部交匯于所述本體的中心，另一端部分別設(shè)有一吸附孔，三個(gè)吸附槽對(duì)稱設(shè)置在所述本體上。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光刻機(jī)用陶瓷吸盤(pán)，其特征在于，所述凸起的上表面為正方形，多個(gè)凸起相隔間距均勻設(shè)置在所述本體的上表面。