[實用新型]一種超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420672502.4 | 申請日： | 2014-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN204536291U | 公開（公告）日： | 2015-08-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉煒煒;蔡體杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海浦江特種氣體有限公司 |
| 主分類號： | G01N33/00 | 分類號： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253 | 代理人： | 馮子玲 |
| 地址： | 200072 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 超純氨中 痕量 測定 氣體 調(diào)制 裝置 | ||
1.一種超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述裝置包括依次連接的超純氮吹掃氣瓶接頭、第一內(nèi)拋光管、壓力調(diào)節(jié)器、波紋調(diào)節(jié)閥、氣體過濾器和接水分析儀進口的接頭，在第一內(nèi)拋光管上并聯(lián)有高壓隔膜閥，在壓力調(diào)節(jié)器與波紋調(diào)節(jié)閥之間通過第二內(nèi)拋光管連接有超純氨被測氣瓶的接頭。
2.如權(quán)利要求1所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述超純氮吹掃氣瓶接頭與超純氨被測氣瓶接頭的尺寸為G5/8”。
3.如權(quán)利要求1所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述第一內(nèi)拋光管、第二內(nèi)拋光管為316L型不銹鋼制成的內(nèi)拋光管。
4.如權(quán)利要求1所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述壓力調(diào)節(jié)器為316L型不銹鋼制成的壓力調(diào)節(jié)器。
5.如權(quán)利要求1所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述波紋調(diào)節(jié)閥為4UW型無填料污染的波紋調(diào)節(jié)閥。
6.如權(quán)利要求5所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述氣體過濾器為過濾0.003微米顆粒的氣體過濾器。
7.如權(quán)利要求1所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述接水分析儀進口的接頭的尺寸為1/4”的VCR接頭。
8.如權(quán)利要求1所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述高壓隔膜閥采用316L型不銹鋼制成。
9.如權(quán)利要求8所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述高壓隔膜閥為高壓手動隔膜閥。
10.如權(quán)利要求4所述的超純氨中痕量水測定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，在所述壓力調(diào)節(jié)器上連接有壓力表。
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