[實用新型]一種質(zhì)譜儀三維移動平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420661370.5
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN204179053U
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉召貴;孫克強;丁志國;周立
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號: H01J49/02
• 分類號: H01J49/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，包括：

外腔體，所述外腔體作為基座承載其他部件；

水平調(diào)節(jié)組件，包括安裝在所述外腔體外側(cè)底部的水平運動的水平調(diào)節(jié)直線馬達，由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達帶動進行水平直線運動的匹配箱組件；

垂直/深度調(diào)節(jié)裝置，包括垂直調(diào)節(jié)組件和深度調(diào)節(jié)組件以及垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體，所述垂直調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體外側(cè)的垂直調(diào)節(jié)直線馬達，所述深度調(diào)節(jié)組件包括安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體外側(cè)的深度調(diào)節(jié)直線馬達，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達和所述深度調(diào)節(jié)直線馬達依據(jù)其絲桿運動方向呈垂直安裝，且處于兩個有一定距離的平行平面上，所述垂直調(diào)節(jié)組件和所述深度調(diào)節(jié)組件通過安裝在所述垂直調(diào)節(jié)組件上的由所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達帶動做直線運動且可繞和所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達聯(lián)接的移動腔轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸控制桿與安裝在所述深度調(diào)節(jié)組件上的由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達帶動做直線運動的轉(zhuǎn)軸托架聯(lián)接在一起；

所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置通過安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置上且與所述移動腔轉(zhuǎn)軸相聯(lián)的支撐塊與所述匹配箱組件相聯(lián)，間接由所述水平調(diào)節(jié)直線馬達帶動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述質(zhì)譜儀三維移動平臺還包括屏蔽罩，所述屏蔽罩固定安裝在所述匹配箱組件側(cè)面，通過安裝在其側(cè)面的石英矩管和線圈及安裝在所述匹配箱組件上的固定塊與所述匹配箱組件相聯(lián)，可隨所述匹配箱組件進行運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達上的垂直馬達絲杠通過絲杠固定板及旋轉(zhuǎn)部件與所述移動腔轉(zhuǎn)軸一端相聯(lián)，所述移動腔轉(zhuǎn)軸的另一端通過軸承安裝在所述垂直/深度調(diào)節(jié)裝置腔體的相對一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸控制桿平行于所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達運動方向并通過調(diào)節(jié)聯(lián)接件與所述移動腔轉(zhuǎn)軸相聯(lián)，形成剖面為以所述移動腔轉(zhuǎn)軸為轉(zhuǎn)軸所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為支撐的多邊結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為1個，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的三邊結(jié)構(gòu)或半封閉的三邊結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述調(diào)節(jié)聯(lián)接件為2個，則所述多邊結(jié)構(gòu)形成封閉的四邊結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述深度調(diào)節(jié)組件還包括滑動機構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸托架安裝在所述滑動機構(gòu)，由所述深度調(diào)節(jié)直線馬達帶動做直線運動。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸托架具有貫通槽，所述轉(zhuǎn)軸控制桿通過所述貫通槽與所述深度調(diào)節(jié)組件聯(lián)接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述貫通槽和所述轉(zhuǎn)軸控制桿精密配合。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀三維移動平臺，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)直線馬達或所述垂直調(diào)節(jié)直線馬達或所述深度調(diào)節(jié)直線馬達或所述移動腔轉(zhuǎn)軸還包括限位裝置。