[實(shí)用新型]一種微波器件測(cè)試用扭環(huán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420655369.1
• 申請(qǐng)日: 2014-11-05
• 公開（公告）號(hào): CN204142776U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李亮;默江輝;崔玉興;付興昌;蔡樹軍;楊克武
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04
• 代理公司: 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 米文智

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

基于半導(dǎo)體材料可制作微波器件，為了驗(yàn)證微波器件的直流及微波特性，需要對(duì)其進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試過(guò)程需要使用測(cè)試夾具，測(cè)試夾具輸入、輸出端子或與負(fù)載連接，或與測(cè)試系統(tǒng)連接，實(shí)現(xiàn)直流及微波測(cè)試。器件測(cè)試幾項(xiàng)很重要指標(biāo)為測(cè)試的穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性、無(wú)損性，無(wú)損性指測(cè)試過(guò)程不能造成夾具損傷。如果測(cè)試夾具輸入、輸出端子與系統(tǒng)連接不緊密，容易造成測(cè)試參數(shù)不準(zhǔn)確，影響測(cè)試精度。

常見的測(cè)試中，測(cè)試夾具輸入、輸出端子采用同軸接頭形式，測(cè)試系統(tǒng)與輸入、輸出端子連接的部件也為同軸接頭。采用的金屬制扳手實(shí)現(xiàn)測(cè)試夾具與測(cè)試系統(tǒng)同軸接頭的連接。由于金屬扳手與同軸接頭外圍為硬接觸，同軸接頭外圍一般會(huì)電鍍一層金屬，容易造成外圍金屬脫落，影響同軸接頭差損等指標(biāo)。同時(shí)，如果用力過(guò)猛，會(huì)造成同軸接頭與測(cè)試系統(tǒng)很難分離，容易造成同軸接頭變形。如果器件需要多次測(cè)試，頻繁的使用烙鐵會(huì)造成測(cè)試夾具測(cè)試系統(tǒng)可靠性下降，且對(duì)器件端子造成機(jī)械損傷。

在一些空間狹小的場(chǎng)合無(wú)法使用金屬扳手，只能用手操作，操作十分不方便，同時(shí)由于手用力有限，造成測(cè)試夾具同軸接頭與測(cè)試系統(tǒng)同軸接頭連接不緊密，影響測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確性。

微波器件是實(shí)現(xiàn)對(duì)微波信號(hào)進(jìn)行放大的器件，在進(jìn)行器件微波測(cè)試時(shí)，需要使用測(cè)試夾具對(duì)器件施加一定的直流工作電壓及微波輸入信號(hào)，例如10dBm的信號(hào)，得到器件噪聲、增益、功率、效率等微波參數(shù)，如果測(cè)試夾具同軸接頭與測(cè)試系統(tǒng)同軸接頭連接不緊密，會(huì)造成器件噪聲系數(shù)大于真實(shí)值，增益、功率、效率測(cè)試值小于真實(shí)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種微波器件測(cè)試用扭環(huán)，能夠?qū)崿F(xiàn)微波器件無(wú)損測(cè)試，使用方便，并能保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是：一種微波器件測(cè)試用扭環(huán)，扭環(huán)外環(huán)壁的橫截面為圓形，扭環(huán)內(nèi)環(huán)壁的橫截面為六邊形，且與微波器件測(cè)試夾具輸入或輸出的同軸接頭端子外形尺寸相適配，所述扭環(huán)的材質(zhì)為塑料或木質(zhì)。

進(jìn)一步的，所述塑料為聚四氟乙烯材料。

進(jìn)一步的，所述扭環(huán)外環(huán)壁表面設(shè)有阻力網(wǎng)紋結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述的圓形與六邊形同心。

采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于：本實(shí)用新型采用聚四氟乙烯材料，實(shí)現(xiàn)了測(cè)試夾具器件輸入、輸出端子與測(cè)試夾具測(cè)試系統(tǒng)的緊密連接，實(shí)現(xiàn)了無(wú)損測(cè)試。同時(shí)采用在扭環(huán)外圍制作網(wǎng)紋接頭，增加了手與扭環(huán)之間摩擦力，使得測(cè)試夾具與測(cè)試系統(tǒng)連接緊密，提高了器件測(cè)試的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性。?

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型俯視的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的左視圖；

圖3是本實(shí)用新型使用狀態(tài)示意圖；

其中，1扭環(huán)，2扭環(huán)外環(huán)壁，3扭環(huán)內(nèi)環(huán)壁，4阻力網(wǎng)紋結(jié)構(gòu)，5同軸陽(yáng)性接頭端子，6同軸陰性接頭端子。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1所示，本實(shí)用新型是一種微波器件測(cè)試用扭環(huán)，扭環(huán)外環(huán)壁2的橫截面為圓形，扭環(huán)內(nèi)環(huán)壁3的橫截面為六邊形，且與微波器件測(cè)試夾具輸入或輸出的同軸接頭端子外形尺寸相適配，所述扭環(huán)1的材質(zhì)為塑料或木質(zhì)；所述塑料為聚四氟乙烯材料；所述扭環(huán)外環(huán)壁2表面設(shè)有阻力網(wǎng)紋結(jié)構(gòu)4；所述的圓形與六邊形同心。

本實(shí)用新型的制作及使用：

1）根據(jù)同軸外形尺寸，使用聚四氟乙烯材料，設(shè)計(jì)并制作扭環(huán)；

2）把扭環(huán)套在測(cè)試夾具輸入、輸出同軸接頭上；

3）測(cè)試夾具同軸接頭與測(cè)試系統(tǒng)同軸接頭對(duì)齊；

4）使用手扭動(dòng)扭環(huán)，使得測(cè)試夾具同軸接頭與測(cè)試系統(tǒng)同軸接頭緊密相連；

本實(shí)用新型采用了聚四氟乙烯材料，對(duì)微波測(cè)試無(wú)影響；采用了聚四氟乙烯材料，其不會(huì)對(duì)測(cè)試夾具端子造成機(jī)械損傷，實(shí)現(xiàn)了無(wú)損測(cè)試；設(shè)計(jì)過(guò)程采用了AutoCAD設(shè)計(jì)程序，制作過(guò)程涉及到機(jī)械加工工藝；外圍設(shè)計(jì)制作了網(wǎng)紋結(jié)構(gòu)，增大了手與鈕環(huán)之間的摩擦力，保證測(cè)試夾具同軸接頭與測(cè)試系統(tǒng)同軸接頭之間緊密連接。本實(shí)用新型采用了帶有網(wǎng)紋結(jié)構(gòu)的聚四氟乙烯扭環(huán)，成功解決了測(cè)試夾具在測(cè)試過(guò)程中存在的連接不緊密的問(wèn)題，保證器件測(cè)試穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性及無(wú)損性。該方法成本低，易實(shí)現(xiàn)，保證了相關(guān)科研生產(chǎn)順利進(jìn)行。

實(shí)施例：

本實(shí)用新型應(yīng)用于GaN?HEMT及SiC?MESFET微波器件測(cè)試中。具體實(shí)施方式如下所述。