[實(shí)用新型]注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420654247.0
• 申請(qǐng)日: 2014-11-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204144266U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡強(qiáng);王思亮;張世勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)東方電氣集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/739
• 分類號(hào): H01L29/739;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/423
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 蘇丹

1.一種注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：包括p型集電極（101），所述p型集電極（101）上設(shè)置有載流子擴(kuò)散層（103），在所述載流子擴(kuò)散層（103）上縱向設(shè)置有多根溝槽（202），所述載流子擴(kuò)散層（103）上橫向設(shè)置有多排p型活性區(qū)（1041）和p型非活性區(qū)（1042），p型活性區(qū)（1041）和p型非活性區(qū)（1042）構(gòu)成p型基區(qū)，呈條紋狀；每排p型活性區(qū)（1041）包括多個(gè)獨(dú)立的p型活性區(qū)（1041），多個(gè)p型活性區(qū)（1041）之間被所述溝槽（202）隔開(kāi)，每排p型非活性區(qū)（1042）包括多個(gè)獨(dú)立的p型非活性區(qū)（1042），多個(gè)p型非活性區(qū)（1042）之間被所述溝槽（202）隔開(kāi)；所述每個(gè)p型活性區(qū)（1041）上設(shè)置有n型發(fā)射極（105），所述n型發(fā)射極（105）呈H型。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述每排p型活性區(qū)（1041）和p型非活性區(qū)（1042）間隔排布；各排p型活性區(qū)（1041）之間至少間隔了一排p型非活性區(qū)（1042）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述n型發(fā)射極（105）為重?fù)絥型層，所述載流子擴(kuò)散層（103）為輕摻n型層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述p型集電極（101）和載流子擴(kuò)散層（103）之間設(shè)置有場(chǎng)截止層（102），所述場(chǎng)截止層為重?fù)絥型層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述每排p型活性區(qū)（1041）和p型非活性區(qū)（1042）的寬度為2um-20um，深度為2um-8um。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述溝槽（202）長(zhǎng)度方向與多排p型活性區(qū)（1041）和p型非活性區(qū)（1042）的長(zhǎng)度方向垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述溝槽（202）包括有呈U型的薄層絕緣層（201），所述薄層絕緣層（201）內(nèi)為n型填充多晶硅。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述溝槽（202）的寬度為0.5um-2um，深度為2um-8um，相鄰溝槽（202）之間的間距為2um-8um，所述H型的發(fā)射極兩側(cè)邊依靠有所述薄層絕緣層（201），所述兩側(cè)邊的寬度分別為0.5um-3um，所述H型兩側(cè)邊之間的寬度為0.5um-8um，所述H型的深度為0.1um-1um。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述p型活性區(qū)（1041）的深度為2um-8um；所述p型非活性區(qū)（1042）的深度為2um-8um；所述p型集電極（101）的深度為0.1um-2um；所述場(chǎng)截止層（102）深度為2um-20um。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的注入增強(qiáng)型絕緣柵雙極型晶體管，其特征在于：所述p型活性區(qū)（1041）內(nèi)設(shè)置有p型發(fā)射極（106）；所述p型發(fā)射極（106）為重?fù)絧型層。