[實用新型]自重閉合式楔形閥裝置

有效

• 申請號: 201420653902.0
• 申請日: 2014-11-04
• 公開（公告）號: CN204187025U
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 王永彬;馬邦興;談建文;陳聰;吳靜;邢成;湯云;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州揚杰電子科技股份有限公司
• 主分類號: F16K1/38
• 分類號: F16K1/38;F16K27/02;F16K31/02
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 周全

技術領域

本實用新型涉及一種半導體濕法腐蝕過程化劑開關控制的自重閉合式防腐蝕楔形閥裝置。

背景技術

當前，在采用濕法腐蝕的半導體制造工藝過程中，采用電磁閥控制酸液/堿液的輸送。然而，頻繁的開關過程誘發產生密封橡膠墊疲勞后的老化破損，密封橡膠墊破損后，酸液/堿液泄露后與電磁閥的金屬組件反應，同時與組件間的潤滑油脂混合，產生對酸液/堿液的直接污染。由于電磁閥的密閉式結構，很難及時發現和確認密封橡膠墊圈的狀態，這就直接導致了酸液/堿液存在不確定污染的風險。而酸液/堿液的污染就會直接產生對半導體器件核心組件——芯片的污染，影響產品的質量。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種結構簡單，可以徹底排除了開關閥門對酸液/堿液形成的污染源，提高產品質量的自重閉合式楔形閥裝置。

本實用新型的技術方案是：所述楔形閥裝置設置在容器內，所述容器的頂面設有排氣口、底面設有安裝孔；所述楔形閥裝置包括楔形閥體、楔形閥座、連接套管、出口管道和提升機構，

所述楔形閥體通過所述提升機構活動設在所述排氣口內，所述楔形閥座固定連接在所述安裝孔內，所述楔形閥座的上部設有楔形孔，所述楔形閥體適配地設在所述楔形孔內；

所述出口管道通過所述連接套管連接在所述楔形閥座的下部。

????所述楔形孔的夾角為4°-8°。

所述提升機構設在所述容器的外部，所述提升機構通過控制器控制。

????所述楔形閥體為鐵氟龍板。

本實用新型包括楔形閥體、楔形閥座、連接套管、出口管道和提升機構，全部使用防強酸腐蝕的材料制作，避免直接和間接與酸液/堿液接觸，從而避免了腐蝕產生的故障；楔形閥體通過提升機構操作，楔形閥體的提升滯空時間受設備控制程序控制，按照程序要求的時間釋放楔形閥體后，楔形閥體靠自重作用落入楔形閥座，起到閉合開關的作用。楔形閥體與楔形閥座的機械性接觸不會產生楔形閥體的機械疲勞性老化；楔形閥體壽命長，且出現磨損后可以很方便的隨時更換。本實用新型便于加工，提高了工作的可靠性。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖，

圖2是圖1中I處的局部放大圖；

圖中1是容器，2是楔形閥體，3是楔形閥座，4連接套管，5是出口管道，6是提升機構。

具體實施方式

本實用新型如圖1-2所示，所述楔形閥裝置設置在容器1內，所述容器1的頂面設有排氣口、底面設有安裝孔；所述楔形閥裝置包括楔形閥體2、楔形閥座3、連接套管4、出口管道5和提升機構6，

所述楔形閥體2通過所述提升機構6活動設在所述排氣口內，所述楔形閥座3固定連接在所述安裝孔內，楔形閥座3采用與容器1材質相同的材料，便于實現密封焊接。

所述楔形閥座3的上部設有楔形孔，所述楔形閥體適配地設在所述楔形孔內；

所述出口管道5通過所述連接套管7連接在所述楔形閥座3的下部。

????所述楔形孔的夾角為4°-8°。工作中，楔形閥芯和楔形閥座的錐度可以根據酸液/堿液的用量需要任意選擇。。

所述提升機構6設在所述容器的外部，所述提升機構通過控制器控制。通過設備控制程序控制提升機構的起落周期，間接獲得楔形閥門的開關動作。提升機構可以是電磁控制系統、氣動組件系統或滑輪組系統。

????所述楔形閥體2為鐵氟龍板，可以任意更換。

本實用新型在安裝、使用中的特點：

1）、開關，開啟信號受設備控制器控制，不接觸酸液或堿液；開關信號發出后，提升機構開啟楔形閥；

2）、連接，楔形閥座采用實心棒體加工出和楔形閥體同樣的錐度后，通過連接套管與外部出口管道連接；

3）、接觸，通過楔形閥體自重作用，自然落入楔形閥座，通過相同錐度的楔形閥芯與閥座的機械性接觸實現開關作用，所有閥門組件全部由防酸/堿耐腐蝕的材料加工；

4）、防護，提升機構的控制部分在受保護的密閉環境，且密閉狀態下的容器避免化劑的蒸發，楔形閥體從容器的排氣孔引出，因此，在避免了普通電磁閥出現密封墊圈疲勞損傷后酸液或堿液污染的同時，也排除了頻繁更換電磁閥帶來對車間作業環境的污染及人體損害的風險。