[實(shí)用新型]靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420640709.3
• 申請(qǐng)日: 2014-10-30
• 公開（公告）號(hào): CN204116713U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳春明;胡放榮;張隆輝;彭暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 桂林市光隆光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/10
• 分類號(hào): G02B26/10
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 45107
• 代理人: 陳躍琳

1.靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其特征在于：主要由位于最底層的低阻硅基底(1)，位于中間層的固定梳齒和梳齒引線(3)，位于最上層的可動(dòng)梳齒、二維掃描微鏡片(5-2)組和支撐梁組(6)，以及同時(shí)處于中間層和最高層的錨位(7)所組成；

低阻硅基底(1)的上表面覆有絕緣層(8)；

固定梳齒固定在低阻硅基底(1)的上表面，并由2個(gè)外部固定梳齒(2-1)和2個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)構(gòu)成；其中2個(gè)外部固定梳齒(2-1)對(duì)稱設(shè)置在低阻硅基底(1)的Y軸向即前后兩側(cè)的邊緣處，2個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)對(duì)稱設(shè)置在低阻硅基底(1)的X軸向即左右兩側(cè)的中部；

錨位(7)直立在低阻硅基底(1)的上表面，并由4根從中間層貫穿到最高層的錨桿構(gòu)成；上述4根錨桿均分為2組，并分別固定在2個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)的相對(duì)外側(cè)，且這4根錨桿在低阻硅基底(1)的上表面呈兩兩對(duì)稱設(shè)置，即位于內(nèi)部固定梳齒(2-2)左側(cè)的2根錨桿相對(duì)稱，位于內(nèi)部固定梳齒(2-2)右側(cè)的2根錨桿相對(duì)稱，且位于內(nèi)部固定梳齒(2-2)左側(cè)的2根錨桿與位于內(nèi)部固定梳齒(2-2)右側(cè)的2根錨桿相對(duì)稱；

可動(dòng)梳齒懸設(shè)在固定梳齒的上方，并由2個(gè)外部可動(dòng)梳齒(4-1)和2個(gè)內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)構(gòu)成；2個(gè)外部可動(dòng)梳齒(4-1)分別位于2個(gè)外部固定梳齒(2-1)的正上方，且外部可動(dòng)梳齒(4-1)的投影與外部固定梳齒(2-1)相嚙合；2個(gè)內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)分別位于2個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)的正上方，且內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)的投影與內(nèi)部固定梳齒(2-2)相嚙合；

二維掃描微鏡片(5-2)組由二維掃描平臺(tái)(5-1)以及平貼在二維掃描平臺(tái)(5-1)的上表面的微鏡片(5-2)構(gòu)成；二維掃描平臺(tái)(5-1)的X軸向即左右側(cè)壁各直接與1個(gè)內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)相固連，二維掃描平臺(tái)(5-1)的Y軸向即前后側(cè)壁各通過一鏡面旋轉(zhuǎn)軸(5-3)與1個(gè)外部可動(dòng)梳齒(4-1)固連；

支撐梁組(6)包括4根L形支撐梁，這4根L形支撐梁均分為2組，并分別懸設(shè)在2個(gè)內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)的相對(duì)外側(cè)，且這4根錨桿在低阻硅基底(1)的上表面呈兩兩對(duì)稱設(shè)置，即位于內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)左側(cè)的2根L形支撐梁相對(duì)稱，位于內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)右側(cè)的2根L形支撐梁相對(duì)稱，且位于內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)左側(cè)的2根L形支撐梁與位于內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)右側(cè)的2根L形支撐梁相對(duì)稱；每根L形支撐梁的一端與1根錨桿相連，另一端與外部可動(dòng)梳齒(4-1)相連；

2根梳齒引線(3)分別固定在2個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)的相對(duì)外側(cè)，其中位于左側(cè)的梳齒引線(3)從位于內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)左側(cè)的2根L形支撐梁的間隙的正下方的中央通過，位于右側(cè)的梳齒引線(3)從位于內(nèi)部可動(dòng)梳齒(4-2)右側(cè)的2根L形支撐梁的間隙的正下方的中央通過。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其特征在于：每根錨桿內(nèi)部均設(shè)有一個(gè)內(nèi)置絕緣層(7-1)，該內(nèi)置絕緣層(7-1)橫置于錨桿內(nèi)，并將錨桿分為上下兩個(gè)獨(dú)立并絕緣的部分，其中下部分錨桿的高度與固定梳齒的高度相當(dāng)，上部分錨桿的高度與可動(dòng)梳齒的高度相當(dāng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其特征在于：微鏡片(5-2)的上和/或下表面鍍有金屬膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其特征在于：2個(gè)外部固定梳齒(2-1)均為單向梳齒，2個(gè)外部固定梳齒(2-1)的齒槽的開口均向內(nèi)朝向即朝向低阻硅基底(1)的中部，且2個(gè)外部固定梳齒(2-1)的齒槽朝向正對(duì)；與之對(duì)應(yīng)，2個(gè)外部可動(dòng)梳齒(4-1)均為單向梳齒，2個(gè)外部可動(dòng)梳齒(4-1)的齒槽的開口均向外朝向即朝向低阻硅基底(1)的邊緣，且2個(gè)外部可動(dòng)梳齒(4-1)的齒槽朝向背對(duì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其特征在于：每個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)均由2個(gè)在Y軸向并排的雙向梳齒組成，即每個(gè)內(nèi)部固定梳齒(2-2)的齒槽的開口向外朝向即朝向2個(gè)外部固定梳齒(2-1)；與之對(duì)應(yīng)，每個(gè)內(nèi)部可動(dòng)均由位于中部的1個(gè)雙向梳齒和位于兩側(cè)的2個(gè)單向梳齒組成，其中雙向梳齒的開口向外朝向即朝向2個(gè)外部固定梳齒(2-1)，單向梳齒的開口向內(nèi)朝向即即朝向雙向梳齒。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其特征在于：所述固定梳齒和可動(dòng)梳齒由單晶硅或多晶硅制成。