[實用新型]一種用于夾取PLC晶圓的鑷子

有效

• 申請號: 201420639374.3
• 申請日: 2014-10-30
• 公開（公告）號: CN204263018U
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 俞月琴;倪智平;李方園
• 申請（專利權）人: 上海鴻輝光通科技股份有限公司
• 主分類號: B25B9/02
• 分類號: B25B9/02;H01L21/687
• 代理公司: 上海兆豐知識產權代理事務所(有限合伙) 31241
• 代理人: 屠軼凡

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工領域的一種用于夾取PLC晶圓的鑷子。

背景技術

在PLC(Planar?Lightwave?Circuit平面光波導)晶圓生產中，為防止人為因素而使灰塵污染PLC晶圓的表面，操作人員必須通過一種用于夾取PLC晶圓的鑷子來夾取PLC晶圓，而不能用手直接提取PLC晶圓。

請參閱圖1至圖3，普通的用于夾取PLC晶圓的鑷子包括第一夾持臂1和第二夾持臂2，第一夾持臂1的第一端部和第二夾持臂2的第一端部是相互固定的。即第一夾持臂1的第一端部和第二夾持臂2的第一端部均為固定端，第一夾持臂1的第二端部和第二夾持臂2的第二端部均為活動端，第一夾持臂1的第二端部設有第一臺階結構19，第二夾持臂2的第二端部設有第二臺階結構29。第一臺階結構19和第二臺階結構29是同向排列的。同時第一夾持臂1的長度小于第二夾持臂2的長度。在夾取PLC晶圓時，第一夾持臂1通過第一臺階結構19與PLC晶圓的上表面，即光刻表面接觸，第二夾持臂2通過第二臺階結構29與PLC晶圓的下表面接觸，對PLC晶圓起到支撐作用。

該用于夾取PLC晶圓的鑷子，存在以下問題。第一，其是用人力夾取PLC晶圓的，第二夾持臂2通過第二臺階結構29對PLC晶圓的下表面的支撐只是在PLC晶圓的徑向一側的支撐，因而PLC晶圓容易脫落。第二，第一夾持臂1的第二端部與PLC晶圓的光刻表面直接接觸，因此在光刻工藝中的人工顯影時，容易造成顯影不均等不良現象，造成良品率的下降。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種用于夾取PLC晶圓的鑷子，其能夠在夾取PLC晶圓的過程中，牢牢夾取PLC晶圓，同時避免與PLC晶圓的上表面接觸，以防止PLC晶圓在人工顯影過程中發生顯影不均勻等缺陷。

實現上述目的的一種技術方案是：一種用于夾取PLC晶圓的鑷子，包括等長的第一夾持臂和第二夾持臂，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂均設有一個固定端和一個活動端，所述第一夾持臂的固定端和所述第二夾持臂的固定端是相互固定的；其特征在于：

所述第一夾持臂的活動端設有一個指向所述第二夾持臂的第一支撐部，所述第二夾持臂的活動端設有一個指向所述第一夾持臂的第二支撐部；

所述第一夾持臂與所述第一支撐部之間的夾角，以及所述第二夾持臂與所述第二支撐部之間的夾角是相同的，且均在70～90°之間。

進一步的，所述第一支撐部上設有第一支撐爪，所述第二支撐部上對稱設有第二支撐爪。

進一步的，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂的截面形狀為梯形。

進一步的，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂都是用軟質金屬制成的。

采用了本實用新型的一種用于夾取PLC晶圓的鑷子的技術方案，即在在第一夾持臂的活動端增加一個指向第二夾持臂的第一支撐部，在第二夾持臂的活動端增加一個指向第一夾持臂的第二支撐部，第一夾持臂與第一支撐部之間的夾角，第二夾持臂與第二支撐部之間的夾角是相同的，且均在70～90°之間的用于夾取PLC晶圓的鑷子的技術方案。其技術效果是：其能夠在夾取PLC晶圓的過程中，牢牢夾取PLC晶圓，同時避免與PLC晶圓的上表面接觸，以防止PLC晶圓在人工顯影過程中發生顯影不均勻等缺陷。

附圖說明

圖1為現有技術的用于夾取PLC晶圓的鑷子的主視圖。

圖2為現有技術的用于夾取PLC晶圓的鑷子的左視圖。

圖3為現有技術的用于夾取PLC晶圓的鑷子的操作示意圖。

圖4為本實用新型的一種用于夾取PLC晶圓的鑷子的主視圖。

圖5為本實用新型的一種用于夾取PLC晶圓的鑷子的左視圖。

圖6為本實用新型的一種用于夾取PLC晶圓的鑷子的操作示意圖。

具體實施方式

請參閱圖4至圖6，本實用新型的發明人為了能更好地對本實用新型的技術方案進行理解，下面通過具體地實施例，并結合附圖進行詳細地說明：

請參閱圖4～圖6，本發明一種用于夾取PLC晶圓的鑷子，包括等長的第一夾持臂1和第二夾持臂2，第一夾持臂1和第二夾持臂2均設有一個固定端和一個活動端，第一夾持臂1的固定端和第二夾持臂2的固定端是相互固定的，以便于對該用于夾取PLC晶圓的鑷子進行操作。

第一夾持臂1的活動端設有一個指向第二夾持臂2的第一支撐部11，第二夾持臂2的活動端設有一個指向第一夾持臂1的第二支撐部21。