[實用新型]一種顯微鏡物鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420638896.1
• 申請日: 2014-10-29
• 公開（公告）號: CN204116702U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 文里云;迪米特
• 申請（專利權(quán)）人: 南京恒磊光學(xué)技術(shù)研究有限公司
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 蔣海軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光學(xué)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種顯微鏡物鏡。

背景技術(shù)

顯微鏡已成為很多行業(yè)研究必不可少的高科技設(shè)備，在一些精密微型領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，特別在醫(yī)療和科研等中具有不可替代的作用。

數(shù)值孔徑(NA)與顯微鏡的其它各個光學(xué)參數(shù)都有密切關(guān)系，一般希望它越大越好，因此提高數(shù)值孔徑(NA)的大小也是科技發(fā)展的需求；目前世界上已有各類顯微鏡物鏡，但是目前技術(shù)上能達到的數(shù)值孔徑(NA)一般保持在0.65左右，能夠達到更大數(shù)值孔徑(NA)的也只有少數(shù)；隨著科技的發(fā)展，目前很多領(lǐng)域開始對更大數(shù)值孔徑(NA)的顯微鏡物鏡需求增大，因此提高顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑(NA)具有必要的意義。

申請?zhí)枮镃N201280008900.X的中國專利公開了一種物鏡及光拾取裝置，其中所述的物鏡用于光拾取裝置，所述光拾取裝置至少具有射出第一波長λ1(390nm<λ1<420nm)的第一光束的第一光源和物鏡，通過所述物鏡將從所述第一光源射出的所述第一波長λ1的第一光束聚光在第一光盤的信息記錄面上，由此進行信息的記錄和/或再生，所述物鏡具有：第一光學(xué)面，其形成于所述第一光源側(cè)；第二光學(xué)面，其面向所述第一光學(xué)面而形成，且曲率半徑大于所述第一光學(xué)面；端面，其是從光軸方向觀察時位于所述第二光學(xué)面外側(cè)且與光軸大致垂直的平面，所述物鏡的像側(cè)數(shù)值孔徑(NA)為0.7以上、0.9以下。盡管對于現(xiàn)有的技術(shù)其數(shù)值孔徑有所提高，但是其數(shù)值孔徑仍然不能滿足一些領(lǐng)域的需求，同時制造成本高。

申請?zhí)枮镃N201410076527.2的中國專利公開了一種大視場高數(shù)值孔徑的i-line光刻機投影物鏡，該物鏡共軛距L＝1500mm，鏡片分為四組獨立設(shè)計再整合優(yōu)化。盡管采用了雙遠心、25片4組結(jié)構(gòu)，其中使用了5個低階非球面來平衡像差，但物鏡的像方有效視場為132×132mm，像方數(shù)值孔徑為0.17。

發(fā)明內(nèi)容

針對多領(lǐng)域?qū)Ω髷?shù)值孔徑(NA)的顯微鏡物鏡需求，本發(fā)明提供一種顯微鏡物鏡，可實現(xiàn)高數(shù)值孔徑(NA)，以滿足目前各領(lǐng)域的需要。

為了解決上述問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：

一種顯微鏡物鏡，包括同光軸設(shè)置的十四片球面透鏡，從物方至像方依次排列，第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡組合為第一膠合透鏡組，其中第一透鏡面向物方為平面，面向像方為凸面；第二透鏡面向物方為凹面，面向像方為凸面；第三透鏡面向物方為凹面，面向像方為凸面；所述第一透鏡的凸面與第二透鏡的凹面、第二透鏡的凸面與第三透鏡的凹面膠合在一起；第四透鏡面向物方為凹面，面向像方為凸面；第五透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面；第六透鏡和第七透鏡組合為第二膠合透鏡組，其中第六透鏡面向物方為凸面，面向像方為凹面；第七透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面；所述第六透鏡的凹面與第七透鏡的凸面膠合在一起；第八透鏡和第九透鏡組合為第三膠合透鏡組，其中第八透鏡面向物方為凸面，面向像方為凹面；第九透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面；所述第八透鏡的凹面與第九透鏡的凸面膠合在一起；第十透鏡和第十一透鏡組合為第四膠合透鏡組，其中第十透鏡面向物方為凸面，面向像方為平面；第十一透鏡面向物方為平面，面向像方為凹面；所述第十透鏡的平面與第十一透鏡的平面膠合在一起；第十二透鏡面向物方為凹面，面向像方為凹面；第十三透鏡和第十四透鏡組合為第五膠合透鏡組，其中第十三透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面；第十四透鏡面向物方為凹面，面向像方為凹面；所述第十三透鏡的凸面與第十四透鏡的凹面膠合在一起。

上述十四個透鏡共有二十二個鏡面，第一透鏡面向物方的平面為第一鏡面，第一透鏡和第二透鏡的膠合面為第二鏡面，第二透鏡和第三透鏡的膠合面為第三鏡面，第三透鏡面向像方的凸面為第四鏡面，第四透鏡的凹面為第五鏡面，第四透鏡的凸面為第六鏡面，第五透鏡面向物方的凸面為第七鏡面，第五透鏡面向像方的凸面為第八鏡面，第六透鏡面向物方的凸面為第九鏡面，第六透鏡和第七透鏡的膠合面為第十鏡面，第七透鏡面向像方的凸面為第十一鏡面，第八透鏡面向物方的凸面為第十二鏡面，第八透鏡和第九透鏡的膠合面為第十三鏡面，第九透鏡面向像方的凸面為第十四鏡面，第十透鏡面向物方的凸面為第十五鏡面，第十透鏡和第十一透鏡的膠合面為第十六鏡面，第十一透鏡面向像方的凹面為第十七鏡面，第十二透鏡面向物方的凹面為第十八鏡面，第十二透鏡面向像方的凹面為第十九鏡面，第十三透鏡面向物方的凸面為第二十鏡面，第十三透鏡和第十四透鏡的膠合面為第二十一鏡面，第十四透鏡面向像方的凹面為第二十二鏡面；二十二個鏡面的結(jié)構(gòu)參數(shù)見下表：