[實用新型]一種分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺

有效

• 申請號: 201420631846.0
• 申請日: 2014-10-29
• 公開（公告）號: CN204254186U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 顧國剛;鐘君
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州生物醫學工程技術研究所
• 主分類號: F16M11/08
• 分類號: F16M11/08;F16M7/00;F16C32/06
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

1.一種分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，包括轉臺回轉軸系（1）、驅動軸系（4）和工作臺面（13），其特征在于，還包括有空氣靜壓聯軸節（2），所述驅動軸系（4）通過空氣靜壓聯軸節（2）連接并驅動轉臺回轉軸系（1），所述工作臺面（13）同軸固接在轉臺回轉軸系（1）上，所述驅動軸系（4）內設置有密珠軸承（8），所述密珠軸承（8）的軸孔與驅動電機（7）同軸固接，所述空氣靜壓聯軸節（2）與密珠軸承（8）通過定位子口保證同軸，并用螺釘緊固，所述轉臺回轉軸系（1）內設置有徑向空氣靜壓軸承（11），所述徑向空氣靜壓軸承（11）與空氣靜壓聯軸節（2）通過定位子口保證同軸，并用螺釘緊固，在所述空氣靜壓軸承（11）的軸孔端面處同軸設置有止推空氣靜壓軸承（12）。

2.?根據權利要求1所述的分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，其特征在于，所述驅動軸系（4）包括有驅動軸系機座（6），所述密珠軸承（8）同軸安裝在驅動軸系機座（6）的軸孔內。

3.根據權利要求1所述的分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，其特征在于，所述轉臺回轉軸系（1）包括轉臺回轉軸系機座（9），所述徑向空氣靜壓軸承（11）同軸安裝在空氣靜壓軸系外套（10）的軸孔內，空氣靜壓軸系外套（10）同軸安裝在轉臺回轉軸系機座（9）的軸孔內。

4.根據權利要求2所述的分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，其特征在于，所述驅動軸系機座（6）底端設置有多個用于調整驅動軸系（4）水平的調平地腳（5）。

5.根據權利要求2所述的分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，其特征在于，所述驅動軸系機座（6）頂端設置有多個用于調整轉臺回轉軸系（1）與驅動軸系（4）的相對位置的調平支撐座（3）。

6.根據權利要求4所述的分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，其特征在于，所述調平地腳（5）用于調平驅動軸系（4）。

7.根據權利要求5所述的分體式超精密空氣靜壓單軸轉臺，其特征在于，所述調平支撐座（3）用于調平轉臺回轉軸系（1）。