[實用新型]一種高效散熱的旋轉平面靶

有效

• 申請號: 201420626320.3
• 申請日: 2014-10-28
• 公開（公告）號: CN204174271U
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 馮斌;金浩;王德苗;李東濱
• 申請（專利權）人: 蘇州求是真空電子有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，包括：冷卻池，置于上述冷卻池內的磁鋼旋轉裝置，固定于上述冷卻池上的靶，用于固定連接上述冷卻池與靶的固定裝置，設于上述冷卻池底部的陰極電極。

2.根據權利要求1所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述冷卻池包括：包裹上述磁鋼旋轉裝置的冷卻池本體，貫穿上述磁鋼旋轉裝置的冷卻水管，固定于上述冷卻池本體上并置于上述磁鋼旋轉裝置底部的冷卻水出水管。

3.根據權利要求1所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述冷卻池與冷卻水管接觸處套接有軸封環。

4.根據權利要求1所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述固定裝置包括：套接于上述冷卻池外周圍的絕緣安裝法蘭，延伸于上述冷卻池并固定連接于上述絕緣安裝法蘭的安裝凸臺；用于固定靶在冷卻池上并覆蓋在上述靶上的導電金屬壓環。

5.根據權利要求4所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述固定裝置還包括：設于上述靶與冷卻池接觸面上的第一橡膠密封圈，設于上述絕緣安裝法蘭的下橫側面與安裝凸臺接觸面上的第二橡膠密封圈，設于上述絕緣安裝法蘭的上橫側面的第三橡膠密封圈。

6.根據權利要求4所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述絕緣安裝法蘭為L形，采用聚四氟乙烯制成，厚度為5-20mm。

7.根據權利要求4所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述導電金屬壓環采用紫銅或鋁等導體材料制成，為倒L形。

8.根據權利要求1所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述磁鋼旋轉裝置包括密封腔體，置于上述密封腔體內部的磁靴，開于上述磁靴的表面上的磁鋼安裝槽，設于上述磁鋼安裝槽內的磁鋼組。

9.根據權利要求8所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上述磁鋼組內的磁鋼體積依次增大。

10.根據權利要求8所述的一種高效散熱的旋轉平面靶,其特征在于，上訴冷卻水管貫穿密封腔體和磁靴的中心，并焊接在上述密封腔體的兩個圓形平面上。