[實用新型]一種基板具有單向閥的壓電振子有效
| 申請號： | 201420621801.5 | 申請日： | 2014-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN204119186U | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發明（設計）人： | 吳越;王旭;董景石;楊陽;劉維帥;楊志剛 | 申請（專利權）人： | 吉林大學 |
| 主分類號： | H03H9/19 | 分類號： | H03H9/19 |
| 代理公司： | 長春市四環專利事務所(普通合伙) 22103 | 代理人： | 郭耀輝 |
| 地址： | 130012 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 單向閥 壓電 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板具有單向閥的壓電振子，包括：彈性基板(1)、壓電陶瓷(2)和彈性表層(3)，其特點在于還包括至少一個彈性閥開口(4)，其中：
彈性基板(1)上與壓電陶瓷(2)粘接一側的表面為粘接面(13)，所述粘接面(13)分為壓電陶瓷粘接區(131)和彈性表層粘接區(132)，所述彈性基板(1)上布置有至少一個彈性基板孔(11)，在所述彈性表層粘接區(132)外邊緣布置第一安裝槽(12)；所述壓電陶瓷(2)為薄片形結構，粘接在彈性基板(1)上的壓電陶瓷粘接區(131)上；所述彈性表層粘接區(132)布置有彈性表層(3)，在所述彈性表層(3)上與彈性基板孔(11)對應位置處布置彈性懸臂(31)，所述彈性懸臂(31)是在彈性表層(3)上布置U型開口(33)而形成，所述彈性懸臂(31)面積大于彈性基板孔(11)的面積，且所述彈性基板孔(11)在彈性表層(3)的投影區域包絡在彈性懸臂(31)邊緣內側；所述彈性懸臂(31)與彈性基板孔(11)配合后形成彈性閥開口(4)。
2.根據權利要求1所述的一種基板具有單向閥的壓電振子，其特征在于：所述壓電陶瓷(2)與彈性基板(1)的布置方式采用一片壓電陶瓷(2)與彈性基板(1)粘接構成的單晶片結構，或同時在彈性基板(1)的第二面粘接第二片壓電陶瓷(2)構成雙晶片結構。
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