[實用新型]緩沖氧化腐蝕液制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420620111.8
• 申請日: 2014-10-25
• 公開（公告）號: CN204237867U
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李操
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰市化學(xué)試劑廠有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C30B33/10
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;申萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種緩沖氧化腐蝕液制備裝置。

背景技術(shù)

緩沖氧化腐蝕液用于LED或者半導(dǎo)體的硅基片的清洗，傳統(tǒng)的緩沖氧化腐蝕液表面張力較大，達到80多達因，對于硅基片表面的較小孔徑腐蝕效果較差，因此尋求一種制備出的緩沖氧化腐蝕液具有低表面張力，使得其能夠用于腐蝕硅基片表面小孔徑的緩沖氧化腐蝕液制備裝置尤為重要。

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種制備出的緩沖氧化腐蝕液具有低表面張力，使得其能夠用于腐蝕硅基片表面小孔徑的緩沖氧化腐蝕液制備裝置。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：

一種緩沖氧化腐蝕液制備裝置，它包括配制罐、表面活性劑儲罐、氫氟酸儲罐、氨氣儲罐、水洗槽、過濾裝置以及成品罐。所述配制罐的頂部設(shè)置有三個進料口，三個進料口分別通過管道連接表面活性劑儲罐、氫氟酸儲罐以及水洗槽的出料口，水洗槽的進料口與氨氣儲罐的出料口連接，所述配制罐底部的出料口通過出料管道連接成品罐，出料管道上設(shè)置過濾裝置。

作為一種優(yōu)選，所述配制罐的內(nèi)壁設(shè)置有ETFE涂層。

作為一種優(yōu)選，所述配制罐的內(nèi)部設(shè)置有PTFE內(nèi)盤管。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型緩沖氧化腐蝕液制備裝置在配制罐中通過添加表面活性劑，制備出的緩沖氧化腐蝕液具有低表面張力，使得其能夠用于腐蝕硅基片表面小孔徑。且緩沖氧化腐蝕液具有耐酸、流動性好、去金屬離子、陰離子，避免其他的BOE出現(xiàn)染色不勻等問題的優(yōu)點。

附圖說明

圖1為本實用新型緩沖氧化腐蝕液制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

配制罐1、表面活性劑儲罐2、氫氟酸儲罐3、氨氣儲罐4、水洗槽5、過濾裝置6、成品罐7。

具體實施方式

參見圖1，本實用新型涉及的一種緩沖氧化腐蝕液制備裝置，它包括配制罐1、表面活性劑儲罐2、氫氟酸儲罐3、氨氣儲罐4、水洗槽5、過濾裝置6以及成品罐7。所述配制罐1的頂部設(shè)置有三個進料口，三個進料口分別通過管道連接表面活性劑儲罐2、氫氟酸儲罐3以及水洗槽5的出料口，水洗槽5的進料口與氨氣儲罐4的出料口連接，所述配制罐1底部的出料口通過出料管道連接成品罐7，出料管道上設(shè)置過濾裝置6。所述配制罐1的頂部還通過管道連接有水封8。所述配制罐1的內(nèi)壁設(shè)置有ETFE（乙烯-四氟乙烯共聚物）涂層，所述配制罐1的內(nèi)部設(shè)置有PTFE（聚四氟乙烯）內(nèi)盤管。

工作原理：

氫氟酸、表面活性劑以及經(jīng)過水洗后的氨氣通入配制罐進行配置，配置后的混合液經(jīng)過過濾裝置過濾通入成品罐收集。