[實用新型]一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置

有效

• 申請號: 201420619232.0
• 申請日: 2014-10-24
• 公開（公告）號: CN204271036U
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 武文杰
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/20;H01L21/68
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于：包括工作臺板（7）；設有貫通軸孔的密封組件（5）穿過所述工作臺板（7），其上端位于真空室內，下端位于大氣區域；旋轉軸（3）的中間部分安裝在所述軸孔內，旋轉軸（3）上端連接有定向圓盤（4）而下端與升降驅動裝置（1）和旋轉驅動裝置（2）連接；位于所述工作臺板（7）下方的密封組件（5）部分設有和所述軸孔連通的差分抽氣口（8）；所述工作臺板（7）頂面裝有LED燈安裝組件（6）；所述密封組件（5）的上下兩端均設有密封壓蓋（13）；所述軸孔兩端設有用于安裝所述旋轉軸（3）的軸套（17）和密封圈（18），所述密封圈（18）使軸孔與旋轉軸（3）之間形成密封。

2.根據權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于：所述旋轉驅動裝置（2）包括旋轉電機（9）、主動輪（10）、從動輪（11）和同步帶（12）；所述旋轉電機（9）的輸出軸上安裝主動輪（10）；所述旋轉軸（3）下端安裝從動輪（11）；所述主動輪（10）和從動輪（11）通過同步帶（12）相連接。

3.根據權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于：所述升降驅動裝置（1）包括升降電機（19）和升降臂（20）；所述升降臂（20）的一端和所述升降電機（19）的輸出軸連接，另一端活套在所述旋轉軸（3）下端并由轉軸臺階（22）限位。

4.根據權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于：所述密封組件（5）由依次連接在一起且均設有對應貫通軸孔的上密封座（14）、中密封座（15）和下密封座（16）組成。

5.根據權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于：所述密封組件（5）通過法蘭盤（21）和所述工作臺板（7）連接。