[實用新型]一種剝離裝置

有效

• 申請號: 201420618824.0
• 申請日: 2014-10-23
• 公開（公告）號: CN204281322U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 周振義;武文鑫;徐振飛;龔健;孫洪波;婁曉靜;顧永強
• 申請（專利權）人: 常州二維碳素科技有限公司
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 徐琳淞

技術領域

本實用新型涉及一種剝離裝置。

背景技術

石墨烯是碳原子按六角結構緊密堆積成的單原子層二維晶體，載流子的本征遷移率可達到2×10⁵cm/(V·S)，這種優異的電學性質使其在高頻電子器件中有著巨大的應用價值。為了制備石墨烯電子器件，首要的問題是制備出大尺寸、具有優異電學性能的石墨烯薄膜，并轉移至合適的目標基底上。目前大尺寸石墨烯薄膜的制備方法主要有包括以下幾種：(1)碳化硅(SiC)外延生長法，雖可獲得高質量大面積的單層石墨烯，但是所使用的SiC的價格昂貴，生長條件苛刻，且生產出的石墨烯難于轉移；(2)化學氣相沉積法(Chemical?Vapor?Deposition，CVD)可以在金屬襯底上生長大面積的單層或多層石墨烯薄膜，所得石墨烯質量好、易于轉移，是目前制備石墨烯薄膜的常用方法，被廣泛用于制備石墨烯晶體管和透明導電薄膜。

CVD法制備的石墨烯需要經過轉移才能從金屬襯底到目標基體。現有石墨烯轉移方法大多數使用腐蝕方法去除基底，成本較高、耗時長，且基底回收難而且會對環境造成一定的污染。目前沒有可實現大面積、大批量、連續化剝離石墨烯生長金屬襯底的裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種成本低、工作效率高、污染小的剝離裝置，實現大面積、大批量、連續化、自動化剝離石墨烯生長金屬襯底。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種剝離裝置，包括機架，以及安裝在機架上的傳動機構和剝離機構；所述剝離機構包括基座、旋轉馬達、旋轉軸、旋轉座、升降馬達、絲桿、鎖緊氣缸、夾具、壓緊滾輪和壓緊驅動裝置；所述旋轉馬達固定在基座上，并驅動旋轉軸轉動；所述旋轉座固定在旋轉軸上；所述升降馬達固定在旋轉座上，并驅動絲桿轉動；所述鎖緊氣缸的缸體與絲桿螺紋連接，并與旋轉軸滑動連接；所述夾具的一部分固定在鎖緊氣缸的缸體上，另一部分固定在鎖緊氣缸的活塞桿上；所述壓緊滾輪和夾具按照樣品的傳動方向依次設置在傳動機構上方。

所述傳動機構包括傳動馬達、傳動軸、錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪、傳動輥和支撐輥；所述傳動軸的一端固定在傳動馬達的輸出端上；所述錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪和傳動輥為一組傳動輸出組件，該輸出組件設有多組；所述每組輸出組件中的錐齒輪均固定在傳動軸上；所述組合齒輪的一端設有與錐齒輪嚙合的錐齒，另一端設有與直齒圓柱齒輪嚙合的直齒；所述直齒圓柱齒輪固定在傳動輥的一端；所述每組輸出組件中的傳動輥的正下方均設有一根支撐輥。

所述傳動機構的入口部分和出口部分只設置支撐輥。

所述剝離機構還包括感應器；所述感應器設置在傳動機構下方。

采用了上述技術方案，本實用新型具有以下的有益效果：(1)本實用新型通過壓緊滾輪壓住金屬襯底，使其一端翹起，夾具夾住金屬襯底翹起的一端，然后勻速向上提拉，從而使金屬襯底的剝離，上料時一次可以上料多排、每排多個樣品，從而實現大面積、大批量、連續化、自動化剝離石墨烯生長金屬襯底；同時本實用新型結構簡單、成本低、工作效率高、污染小。

(2)本實用新型的傳動機構通過一根傳動軸驅動所有傳動輥轉動，結構簡單，傳動輥實現了同步傳動，使樣品傳送更加穩定。

(3)本實用新型的傳動機構的上料段的入口部分以及下料段的出口部分只設置支撐輥，這種結構既便于上料、下料，又節約了成本。

(4)本實用新型的剝離機構的感應器能夠感應樣品上的金屬襯底，使金屬襯底的剝離更加精確。

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型的實施例1的結構示意圖。

圖2為本實用新型的實施例1的剝離機構的結構示意圖，圖中未示出壓緊滾輪、壓緊驅動裝置和感應器。

圖3為本實用新型的實施例1的剝離機構的感應器安裝位置示意圖。

圖4為本實用新型的實施例2的傳動機構的傳動輥和支撐輥的位置示意圖。

附圖中的標號為：

樣品1、金屬襯底11、傳動機構2、傳動輥21、支撐輥22、剝離機構3、基座31、旋轉馬達32、旋轉軸33、旋轉座34、升降馬達35、絲桿36、鎖緊氣缸37、夾具38、感應器39。

具體實施方式

(實施例1)

見圖1至圖3，本實施例的剝離裝置包括機架，以及安裝在機架上的傳動機構2和剝離機構3。