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[實用新型]一種用于生長藍寶石晶體長晶爐的熱場有效

專利信息
申請號: 201420610793.4 申請日: 2014-10-22
公開(公告)號: CN204125567U 公開(公告)日: 2015-01-28
發明(設計)人: 吉愛華;王恩民;殷軍;龍安澤 申請(專利權)人: 江蘇泰源光電科技有限公司
主分類號: C30B29/20 分類號: C30B29/20;C30B15/14
代理公司: 南京知識律師事務所 32207 代理人: 汪旭東
地址: 223800 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 生長 藍寶石 晶體 長晶爐
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及一種用于生長藍寶石晶體長晶爐的熱場,屬于藍寶石生產設備技術領域。

背景技術

?眾所周知,現在都是用熱場生長藍寶石晶體,長晶爐爐筒與蓋的密封性直接影響到長出晶體的質量,大蓋都是人工放到爐筒上的,稍有不謹,就容易使爐筒和大蓋有偏差,爐內2000多度的高溫很難保證,要達到藍寶石晶體生長的溫度,就得不停的加熱,對電的消耗巨大,能源浪費嚴重,更重要的是嚴重影響長出的藍寶石晶體產品質量,如何使熱場密封良好是熱場最需要關注的問題。

實用新型內容

針對上述問題,本實用新型提供了一種用于生長藍寶石晶體長晶爐的熱場,其目的在于:采用藍寶石晶片的熱場后,確保了長晶爐密封良好及爐內溫度的一致性,節約了能耗,提高了保溫效果和晶體成品率,為企業節約成本,提高生產效率,提高了產品質量。

本實用新型的技術解決方案:

一種用于生長藍寶石晶體長晶爐的熱場,包括:爐筒、所述爐筒內部設有側屏氧化鋯磚保溫層,在側屏氧化鋯磚保溫層內側設置有內保溫桶,在所述內保溫桶的內腔中設置有鎢筒加熱器,在鎢筒加熱器的內腔中設置有鉗鍋,所述坩堝底部設有托盤,所述托盤底部設有與爐筒連接的坩堝軸,在坩堝上端設有坩堝蓋板,鎢筒加熱器上方和下方分別設有上部保溫層和下部保溫層,其特征在于:所述爐筒上端設有用于蓋住爐筒的大蓋、小蓋,所述大蓋下端表面上設有磁鐵一,在爐筒上端表面上與所述磁鐵一對應處設有磁鐵二,所述磁鐵一、磁鐵二相互吸合時候,可使大蓋緊貼于爐筒上表面與小蓋形成緊密配合。

?所述磁鐵一、磁鐵二在爐筒和大蓋上設置至少一處。

所述磁鐵一為P型磁鐵,磁鐵二為N型磁鐵。

所述N型磁鐵設于大蓋下端表面外沿處,其下端面與大蓋下端面平齊,P型磁鐵設于爐筒上端表面外沿處,其上端面與爐筒上端面平齊。

所述磁鐵一為N型磁鐵,磁鐵二為P型磁鐵。

所述N型磁鐵設于大蓋下端表面外沿處,其下端面與大蓋下端面平齊,P型磁鐵設于爐筒上端表面外沿處,其上端面與爐筒上端面平齊。

所述側屏氧化鋯磚保溫層為三層結構。

所述坩堝軸材質為鎢:鉬比例為1:1的鎢鉬合金。

所述大蓋材質為鋅:鎂:鋁比例為1:2:3鍍鋅鎂鋁冷軋非合金鋼。

所述爐筒材質為鎳鎘鉻比例為1:1:1的鎳鎘鉻合金。

所述坩堝材質為鎢。

本實用新型的有益效果:

???本實用新型通過在爐筒于爐筒大蓋之間設有磁感裝置,使熱場保溫性能好、能耗明顯降低,氣體流向順暢、利于揮發物排走、成晶穩定,延長設備使用壽命、降低生產成本;減少磁鐵退磁和磁流體蒸發、避免磁流體密封漏氣掉渣而影響直拉單晶生長,提高密封性能、延長使用壽命;使引晶、等徑、轉肩等拉晶工藝穩定,提高生產效率和成品率。相對比于現有技術中的單晶爐熱場結構,可以減少單晶拉制過程中的熱量散失,從而能夠降低能耗,可以在保證晶體質量和生產效率的前提下,因此能夠有效的降低單晶拉制成本。

附圖說明

圖1:本實用新型用于生長藍寶石晶體長晶爐的熱場結構原理示意圖。

其中:1?爐筒??2?側屏氧化鋯磚保溫層??3?內保溫桶??4?鎢筒加熱器??5?坩堝??6?托盤??7?坩堝軸??8?坩堝蓋板??9?上部保溫層??10?下部保溫層??11?大蓋??12?小蓋??13?磁鐵二??14?磁鐵一。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例來對本實用新型做進一步描述:

如圖1所示,一種用于生長藍寶石晶體長晶爐的熱場,包括:爐筒1、所述爐筒1內部設有側屏氧化鋯磚保溫層2,在側屏氧化鋯磚保溫層2內側設置有內保溫桶3,在所述內保溫桶3的內腔中設置有鎢筒加熱器4,在鎢筒加熱器4的內腔中設置有鉗鍋5,所述坩堝5底部設有托盤6,所述托盤6底部設有與爐筒1連接的坩堝軸7,在坩堝5上端設有坩堝蓋板8,鎢筒加熱器4上方和下方分別設有上部保溫層9和下部保溫層10,所述爐筒1上端設有用于蓋住爐筒1的大蓋11、小蓋12,所述大蓋11下端表面上設有磁鐵一14,在爐筒1上端表面上與所述磁鐵一14對應處設有磁鐵二13,所述磁鐵一14、磁鐵二13相互吸合時候,可使大蓋11緊貼于爐筒1上表面與小蓋12形成緊密配合。

實施例1:

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