[實用新型]一種三位一體薄膜測試裝置

有效

• 申請號: 201420607407.6
• 申請日: 2014-10-20
• 公開（公告）號: CN204154647U
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 董亞明;劉云芳;黃春雨;劉婷;胡秀濤;王俠;任雪莉
• 申請（專利權）人: 上海師范大學
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65;G01N21/55;G01Q30/20;G01Q60/24;G01B11/06;G01B11/245
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 周云

1.一種三位一體薄膜測試裝置，包括拉曼光譜儀、原子力顯微鏡、表面等離子共振光譜儀各一臺，其特征在于，還包括一樣品臺，所述樣品臺由一矩形玻璃襯底、一半圓棒棱鏡和一半透明金屬膜組成，半透明金屬膜鍍在玻璃襯底上側，半圓棒棱鏡的矩形面緊密貼合于玻璃襯底下側；拉曼光譜儀的光源以及信號采集裝置均設置在樣品臺的上方，表面等離子共振光譜儀的光源設置在樣品臺的下方，原子力顯微鏡設置于樣品臺上方。

2.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述玻璃襯底為K9玻璃片。

3.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述半透明金屬膜為Au或Ag膜，厚度為38-40nm。

4.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述半圓棒棱鏡的矩形面小于與其貼合的玻璃襯底側面。

5.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，上述方案中的玻璃襯底可以任意換取，而且待測樣品薄膜可以提前或直接在金屬膜上制備。